[发明专利]一种巨量转移装置和方法

权利要求书

1.一种巨量转移装置，用于将阵列式排布在第一基板上的多个半导体器件转移至第二基板，所述半导体器件包括磁性部，所述巨量转移装置包括：

电磁编码器基座，所述电磁编码器基座包括阵列式排布的多个微型磁力发生器，并且，所述电磁编码器基座适于放置带有阵列式半导体器件的第一基板，使得微型磁力发生器和半导体器件一一对应；

磁性转移板，所述磁性转移板适于通过磁力将半导体器件从放置在电磁编码器基座上的第一基板上转移至第二基板上；以及

磁性编码装置，所述磁性编码装置与电磁编码器基座电连接，以单独控制所述电磁编码器基座的各个微型磁力发生器的磁性，使得所述磁性转移板能够通过和所述电磁编码器基座的磁性配合作用从放置在电磁编码器基座上的第一基板上选择性地拾取半导体器件。

2.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其中，所述磁性编码装置包括计算机地址编码器和磁性变换电路，其中，

所述计算机地址编码器配置为获取阵列式排布在第一基板上的多个半导体器件的地址信息，并根据所述地址信息向所述磁性变换电路发送控制信号；

所述磁性变换电路根据计算机地址编码器的控制信号，选择性控制各个微型磁力发生器的磁力的大小或方向。

3.根据权利要求2所述的巨量转移装置，其中，所述电磁编码器基座包括一载体基板和在该载体基板上制作的阵列式排布的微型线圈，每个微型线圈作为一个微型磁力发生器，并且每个微型线圈的两个端子电连接到所述磁性变换电路。

4.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其中，所述磁性转移板为一电磁铁，所述电磁铁的线圈连接一磁性控制装置，所述磁性控制装置用于改变所述磁性转移板的磁性。

5.根据权利要求1所述的巨量转移装置，还包括磁性吸附板，所述磁性吸附板具有与所述磁性转移板的磁力极性方向相同的极性方向，并且，所述磁性吸附板适于放置第二基板。

6.根据权利要求5所述的巨量转移装置，其中，所述磁性吸附板为永磁铁或电磁铁。

7.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其中，所述电磁编码器基座与第一基板的形状和尺寸大致相同。

8.根据权利要求1所述的巨量转移装置，其中，所述磁性吸附板与所述第二基板的形状和尺寸大致相同。

9.一种巨量转移方法，用于将阵列式排布在第一基板上的多个半导体器件转移至第二基板，包括：

提供电磁编码器基座，所述电磁编码器基座包括阵列式排布的多个微型磁力发生器；

将带有阵列式半导体器件的第一基板放置在电磁编码器基座上，使得微型磁力发生器和半导体器件一一对应；

提供磁性转移板，将磁性转移板移动至放置在电磁编码器基座上的第一基板上方；

单独控制电磁编码器基座上的各个微型磁力发生器的磁性，以通过所述磁性转移板和所述电磁编码器基座的磁性配合作用从放置在电磁编码器基座上的第一基板上选择性地拾取半导体器件；以及

将带有半导体器件的磁性转移板移动至第二基板的上方，并改变磁性转移板的磁性以将拾取的半导体器件释放到第二基板上。

10.根据权利要求9所述的巨量转移方法，其中，控制电磁编码器基座上的各个微型磁力发生器的磁性包括改变所述电磁编码器基座的各个微型磁力发生器的磁力的大小或极性方向。

11.根据权利要求9所述的巨量转移方法，通过所述磁性转移板和所述电磁编码器基座的磁性配合作用选择性拾取第一基板上的半导体器件包括：

拾取半导体器件之前，使各个微型磁力发生器的极性方向均与磁性转移板的极性方向相同；以及

进行拾取时，选择与要拾取的半导体器件对应的微型磁力发生器并反转所述微型磁力发生器的极性方向，使得所选择的微型磁力发生器的极性方向与磁性转移板的极性方向相反。