[发明专利]一种用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液及制备方法

权利要求书

1.一种用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液，其特征在于，包括以下按重量百分比计的组分：硫酸10％-20％，添加剂1％-5％，表面活性剂0.05％-0.5％，消泡剂0.01％-0.1％，余量水，所述添加剂为无机盐和有机物的混合物。

2.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液，其特征在于：所述无机盐选自醋酸铵、硫酸铵、硝酸铵、硝酸钾、硫酸钾、磷酸二氢钾、磷酸钾、醋酸钾和柠檬酸钾中的任意一种。

3.根据权利要求1所述的一种用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液，其特征在于：所述有机物选用甲基四唑、咪唑、2-巯基咪唑、2-巯基-5-甲基苯并咪唑、1,2,4-三氮唑、4-氨基-4H-1,2,4-三唑、苯骈三氮唑中的任意一种。

4.一种用于TFT-LCD显示屏用ITO蚀刻液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、在混配釜中，先加如一定量的高纯水；

S2、在不断搅拌的条件下，加如一定量的浓硫酸，并循环2h，打开冷却系统，冷却硫酸溶液至30℃；

S3、按比例在混配釜中加如添加剂、表面活性剂、消泡剂，并循环30min；

S4、将混合液体采用0.1μm过滤器进行过滤后得到ITO蚀刻液。