[发明专利]压力传感器密封性测试装置在审
申请号: | 202110488701.4 | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113188730A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 王小平;曹万;唐文;齐擎;陈列 | 申请(专利权)人: | 武汉飞恩微电子有限公司 |
主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26;G01L27/00 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁爽 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压力传感器 密封性 测试 装置 | ||
1.一种压力传感器密封性测试装置,所述压力传感器包括外壳以及设于外壳侧面且连通于所述外壳的内腔的气嘴,其特征在于,所述压力传感器密封性测试装置包括:
台架;
检漏仪,设于所述台架;以及,
检测结构组,设于所述台架的上端面,所述检测结构组包括沿左右向间隔设置的安装座和接头座,所述安装座具有朝向所述接头座的检测侧面,所述安装座的上端面形成有容置槽,所述容置槽用以放置所述压力传感器的外壳且使所述气嘴突出于所述检测侧面,所述接头座形成有气体通道,所述气体通道的一端口形成在所述接头座朝向所述检测侧面的侧面,另一端口连接至所述检漏仪的测试接口;
其中,所述接头座具有沿左右向靠近或远离所述安装座的活动行程,可靠近所述安装座以使所述气体通道的端口套设于所述气嘴,以连通所述气嘴和所述测试接口。
2.如权利要求1所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,所述检测结构组设置有多个,多个所述检测结构组至少包括第一检测结构组和第二检测结构组,所述第一检测结构组和所述第二检测结构组切换用于检测和装载所述压力传感器。
3.如权利要求2所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,每一所述检测结构组中,所述安装座沿前后向间隔设置有多个,所述接头座对应设置有多个,且多个所述接头座均可沿左右向移动。
4.如权利要求1所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,还包括压块,所述压块可沿上下向移动地设于所述台架,且对应处于所述容置槽的上方,用以向下压接于待测试的所述压力传感器的外壳的上端面。
5.如权利要求4所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,所述检测结构组设置有多个;
所述压块可在多个所述检测结构组的容置槽的上方切换活动。
6.如权利要求5所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,所述检测结构组设置有两个,两个所述检测结构组沿左右向布设;
所述压力传感器密封性测试装置还包括压块驱动组件,所述压块驱动组件包括:
第一气缸,所述第一气缸的导向杆可沿上下向伸缩设置,所述第一气缸的第一缸体和第一导向杆其中之一设于所述压块;
连接架,所述第一气缸的第一缸体和第一导向杆其中之另一设于所述连接架;
第一直线导轨结构,包括沿左右向延伸的第一导轨以及可滑动设于所述第一导轨的第一滑台,所述第一导轨和所述第一滑台其中之一设于所述台架的上端面,另一设于所述连接架;以及,
第二气缸,所述第二气缸的导向杆可沿左右向伸缩设置,所述第二气缸的第二缸体和第二导向杆其中之一设于所述台架的上端面,另一设于所述连接架。
7.如权利要求6所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,所述台架的上端面对应所述连接架的左右两侧分别设有第一接近开关,以限制所述连接架沿左右向的活动行程。
8.如权利要求1所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,还包括接头座驱动组件,所述接头座驱动组件包括:
第三直线导轨结构,包括沿左右向延伸的第三导轨以及可滑动设于所述第三导轨的第三滑台,所述第三导轨和所述第三滑台其中之一设于所述台架的上端面,另一连接于所述接头座;以及,
第三气缸,所述第三气缸的导向杆可沿左右向移动设置,所述第三气缸的第三缸体和第三导向杆其中之一设于所述接头座,另一设于所述台架的上端面。
9.如权利要求1所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,所述台架包括台架本体以及可拆卸地设于所述台架本体上端面的基板;
所述检漏仪设于所述台架本体;
所述检测结构组设于所述基板。
10.如权利要求9所述的压力传感器密封性测试装置,其特征在于,所述台架本体的上端面还设有第二接近开关,所述第二接近开关对应所述基板设置。
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