[发明专利]一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法

权利要求书

1.一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置,其特征在于：所述检测装置包括光罩载台（1）、LED背光源（2）、安装板（3）和图像采集机构，所述光罩载台（1）上安装待检测光罩（4），所述LED背光源（2）安装于待检测光罩（4）正下方，所述安装板（3）安装于光罩载台（1）上方，所述图像采集机构安装于安装板（3）。

2.根据权利要求1所述的一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置，其特征在于：所述图像采集机构包括高清广角摄像头（5）和控制盒（6），所述高清广角摄像头（5）安装于安装板（3）下方，所述控制盒（6）安装于安装板（3）上端面。

3.根据权利要求2所述的一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置，其特征在于：所述控制盒（6）内设有控制器，所述控制器内设置中央处理器（7）、图像采集单元（8）、图像优化单元（9）、数据库单元（10）、报警单元（11）和信号传输单元（12），所述图像采集单元（8）输入端连接高清广角摄像头（5），所述图像采集单元（8）输出端通过图像优化单元（9）连接中央处理器（7），所述中央处理器（7）分别连接数据库单元（10）和报警单元（11），所述中央处理器（7）通过信号传输单元（12）连接后台监测终端（13）。

4.实现权利要求1所述的一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置的检测方法，其特征在于：检测方法包括以下步骤：

A、首先打开LED背光源，高清广角摄像头采集光罩表面图像；

B、图像采集单元将采集的图像传输至图像优化单元进行优化；

C、优化后的图像信号通过中央处理器处理后传输至数据库单元与预设的正常图像进行比较；

D、若检测到异常图像，则立即发出报警信号；

E、同时中央处理器将异常图像实时传输至后台监测终端供技术人员参考。

5.根据权利要求4所述的一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置的检测方法，其特征在于：所述步骤B中图像优化单元优化方法如下：

a、获取光罩图像灰度直方图；

b、设定灰度拉伸中间值，将灰度值小于所述灰度拉伸中间值的全部像素的灰度值 降低第一设定值，同时将灰度值大于所述灰度拉伸中间值的全部像素的灰度值增加第一设定值；

c、判断处理后的图像灰度直方图中设定目标灰度区间内是否有像素出现；

d、当设定目标灰度区间内没有像素出现时，判断步骤b的处理次数是否达到第二设定值的次数，若已经达到第二设定值的次数时停止对图像灰度进行处理；

e、当设定目标灰度区间内没有像素出现，并且步骤b的处理次数尚未达到第二设 定值时，返回步骤b对图像灰度进行进一步处理；

f、当设定目标灰度区间内有像素出现时，停止对图像灰度进行处理。