[发明专利]具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器及其制作方法

权利要求书

1.一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：包括基板，所述基板包括冷液板层以及设置于冷液板层的上端面和/或下端面的平板式热管层，所述冷液板层内设置有冷却液流道。

2.根据权利要求1所述的一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：所述平板式热管层内设置有多个平行设置的排孔。

3.根据权利要求2所述的一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：所述排孔的内壁设置有多孔介质层。

4.根据权利要求2所述的一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：所述排孔孔道的两端均设置有密封堵头。

5.根据权利要求2所述的一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：所述冷液板层内设置有多个平行设置的冷却液流道，所述排孔与冷却液流道平行设置。

6.根据权利要求5所述的一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：所述冷液板层的两端均设置有端盖，所述端盖设置有冷却液进口和冷却液出口。

7.根据权利要求1所述的一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：所述基板为铝基板，所述冷液板层和平板式热管层一体成型。

8.一种如权利要求1-7任意一项所述具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1、以纯铝或铝合金做材料，制作铝基板，所述铝基板包括冷液板制作层和平板式热管制作层；

S2、在平板式热管制作层内设置有多个排孔；

S3、平板式热管制作层的排孔内壁面设置多孔介质层；

S4、封堵住排孔的一端使之密闭；往排孔中注入低沸点工质；

S5、在负压下，对排孔的另一端进行密闭，将低沸点工质密封在所述排孔内，得到包括多个平板热管的平板式热管层；

S6、在平板式热管制作层的排孔内壁面设置多孔介质层；

S7、在冷液板制作层的两端分别设置端盖，所述端盖设置有冷却液进口和冷却液出口。

9.根据权利要求8所述的一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：所述步骤S4中，多孔介质层的制作方法包括如下步骤：

A1、在每个排孔的中央均插入一根插针，所述插针的截面积大小设为插入后留出与排孔内壁面0.5-1mm的间隙；将所述插入插针的铝基板垂直放置，在每个排孔的余下的空隙中填充装入铝粉或铝合金粉末；

A2、将已经插入了插针并填充了铝粉或铝合金粉末的铝基板工件置入粉末冶金烧结炉中，持续抽真空，排除氧气；

A3、往烧结炉中充入氮气，在氮气保护气氛中进行升温，加热烧结炉进行烧结；

A4、烧结完成后自然冷却至常温，然后拔出插针，制得多孔介质层。

10.根据权利要求1所述的一种具有平板热管和冷却液板复合结构的散热器，其特征在于：所述步骤A3中，氮气气氛的水分的分压为0.001-0.02kPa；以5-8℃/min的升温速度加热烧结炉，直至560-600℃；在氮气保护气氛中维持至少1h。