[发明专利]一种避免泡沫干扰的液位侦测器及液位侦测方法

说明书

本发明公开了一种避免泡沫干扰的液位侦测器及液位侦测方法，所述液位侦测器包括：侦测头，至少包括设置于储液罐外不同高度处的上侦测头和下侦测头，以分别获取所述储液罐内不同高度处的液位信号；处理器，与所述侦测头通信连接，用于获取所述侦测头的液位信号，以基于所述上侦测头的液位信号和所述下侦测头的液位信号，判断所述储液罐内液位的状况。根据本发明提供的避免泡沫干扰的液位侦测器及液位侦测方法，通过在储液罐外不同高度处设置上侦测头和下侦测头，分别获取储液罐内不同高度处的液位信号，并基于所述上侦测头的液位信号和所述下侦测头的液位信号，判断所述储液罐内液位的状况，避免了泡沫层对液位侦测的干扰，获得真实、准确的液位状态。

技术领域

本发明涉及液位侦测领域，具体而言涉及一种避免泡沫干扰的液位侦测器及液位侦测方法。

背景技术

液位侦测器是一种广泛应用于液体存储设备上的装置，其主要功能是在储液罐外侦测储液罐内相应位置处是否有液体存在，继而送出相应的信号，以实现自动补液、排液、报警等功能。

然而，在生产过程中，例如在硅片抛光和清洗的工艺中，通常需要使用一些容易产生泡沫的液体(如清洗液、活性剂等)，因此在储液罐内形成一定厚度的泡沫层，飘浮在液体上面。而液位侦测器对于泡沫层的侦测非常不稳定，信号时有时无，从而无法准确判断该液位处是否真的有液体，进而导致误操作或误报警。

因此，有必要提出一种避免泡沫干扰的液位侦测器及液位侦测方法，以解决上述问题。

发明内容

在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

本发明提供了一种避免泡沫干扰的液位侦测器，包括：

侦测头，至少包括设置于储液罐外不同高度处的上侦测头和下侦测头，以分别获取所述储液罐内不同高度处的液位信号；

处理器，与所述侦测头通信连接，用于获取所述侦测头的液位信号，以基于所述上侦测头的液位信号和所述下侦测头的液位信号，判断所述储液罐内液位的位置。

进一步，所述处理器还用于基于所述上侦测头的液位信号变化和所述下侦测头的液位信号变化，判断所述储液罐内液位的变化。

进一步，所述液位侦测器还包括：高度调节器，设置于所述上侦测头和下侦测头之间，用于调节所述上侦测头与所述下侦测头之间的高度差。

进一步，所述液位侦测器还包括：侦测指示灯，设置于所述侦测头上，用于指示所述侦测头所在高度处的液位信号。

进一步，当所述侦测头所在高度处有液体时，所述侦测指示灯亮；当所述侦测头所在高度处无液体时，所述侦测指示灯灭；当所述侦测头所在高度处有泡沫时，所述侦测指示灯时亮时灭。

进一步，所述液位侦测器还包括：液位指示灯，与所述处理器通信连接，用于指示所述下侦测头所在高度处是否有液体。

进一步，当所述下侦测头所在高度处有液体时，所述液位指示灯亮；当所述下侦测头所在高度处无液体时，所述液位指示灯灭；当所述下侦测头所在高度处有泡沫时，所述液位指示灯灭。

本发明还提供了一种利用上述液位侦测器进行液位侦测的方法，包括以下步骤：

通过将所述上侦测头和所述下侦测头设置于储液罐外不同高度处，以分别获取所述储液罐内不同高度处的液位信号；

基于所述上侦测头的液位信号和所述下侦测头的液位信号判断所述储液罐内液位的位置。

进一步，基于所述上侦测头的液位信号变化和所述下侦测头的液位信号变化，判断所述储液罐内液位的变化。