[发明专利]一种超薄自适应变形镜的脱模装置及脱模方法

权利要求书

1.一种超薄自适应变形镜的脱模装置，其特征在于，所述脱模装置包括加热装置和分离装置，所述加热装置包括电源（1）、电阻丝（2）、导线（4）和柏油层（7），所述柏油层（7）均匀设于超薄自适应变形镜（11）与基底镜（5）之间，所述电阻丝（2）均匀设于柏油层（7）内，两端通过导线（4）连接至电源（1）；所述分离装置包括转台（8）、真空吸盘（9）和提升装置（10），所述基底镜（5）固定于转台（8）内，所述真空吸盘（9）设于超薄自适应变形镜（11）的凹面侧，用于吸取超薄自适应变形镜（11），所述提升装置（10）与真空吸盘（9）活动连接，用于提升真空吸盘（9），使超薄自适应变形镜（11）与基底镜（5）分离。

2.根据权利要求1所述的一种超薄自适应变形镜的脱模装置，其特征在于，所述超薄自适应变形镜（11）的材料为金属、光学玻璃、碳化硅或熔石英。

3.根据权利要求1所述的一种超薄自适应变形镜的脱模装置，其特征在于，所述电阻丝（2）在柏油层（7）内呈S形分布，两端与导线（4）焊接连接，连接处设有绝缘硅胶。

4.根据权利要求1所述的一种超薄自适应变形镜的脱模装置，其特征在于，所述超薄自适应变形镜（11）的凸面为非球面，朝向柏油层（7）；所述基底镜（5）的凹面为球面，朝向柏油层（7）。

5.根据权利要求1所述的一种超薄自适应变形镜的脱模装置，其特征在于，所述加热装置还包括可变电阻（3），用于控制加热电流的大小。

6.根据权利要求1所述的一种超薄自适应变形镜的脱模装置，其特征在于，所述真空吸盘（9）为3爪真空吸盘，按十字阵列均匀布置在超薄自适应变形镜（11）的凹面侧。

7.根据权利要求1所述的一种超薄自适应变形镜的脱模装置，其特征在于，所述提升装置（10）为龙门式提升装置，通过手动或电机驱动。

8.应用权利要求1所述的一种超薄自适应变形镜的脱模装置进行脱模的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

S1. 用柏油将待减薄的厚镜（6）与基底镜（5）相粘接，并在柏油层（7）中均匀铺设一根电阻丝（2）；

S2. 从厚镜（6）远离柏油层（7）的一面进行减薄，将镜面加工成超薄自适应变形镜（11），厚度加工至所需要求；

S3. 打开电源（1）对电阻丝（2）通电，利用电阻丝（2）产生的焦耳热融化柏油层（7）；

S4. 排出真空吸盘（9）内的气体并控制真空度直至真空吸盘（9）与超薄自适应变形镜（11）稳定结合；

S5. 在柏油熔融状态下转动转台（8），利用提升装置（10）提升真空吸盘（9），实现超薄自适应变形镜（11）的脱模。

9.根据权利要求8所述的所述一种超薄自适应变形镜的脱模方法，其特征在于，步骤S4中真空度通过位于真空吸盘（9）的外部气路中的真空电气比例阀和真空气压表控制。