[发明专利]一种基于体振动的翻转倾斜检测结构

权利要求书

1.一种基于体振动的翻转倾斜检测结构，包括：

基底；

锚点结构，固定于所述基底；

星形振动结构，悬置于所述基底上并与所述锚点结构机械耦合，所述星形振动结构的外轮廓为正6N角星，N为≥2的正整数；

至少两个面内换能器，用于实现该检测结构平面内的机械场与电场的耦合；所述至少两个面内换能器与所述基底连接，并沿该检测结构的中心圆周分布在最外侧，且相邻两所述面内换能器之间间隔设置；

至少两个面外换能器，用于实现该检测结构平面外的机械场与电场的耦合；所述至少两个面外换能器与所述基底连接，并沿该检测结构的中心圆周分布于所述星形振动结构与所述基底之间且与所述星形振动结构间隔设置，相邻两所述面外换能器之间间隔设置；

其中，所述检测结构工作在两个体振动模态中，两个所述体振动模态包括工作在结构面内的3θ体振动驱动模态以及工作在结构面外的第2阶弯曲体振动检测模态，两个所述体振动模态可相互互换。

2.根据权利要求1所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：所述星形振动结构套设于所述锚点结构并与所述锚点结构抵接固定。

3.根据权利要求1所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：所述星形振动结构套设于所述锚点结构并与所述锚点结构间隔，所述星形振动结构与所述锚点结构之间设有多个梁结构，所述梁结构将所述星形振动结构与所述锚点结构相互连接。

4.根据权利要求3所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：所述梁结构的数量为3N，N为正整数。

5.根据权利要求4所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：所述梁结构均包括第一支撑梁以及与所述第一支撑梁呈对称设置的第二支撑梁。

6.根据权利要求1所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：所述基底上设有绝缘层，所述锚点结构、所述面内换能器以及所述面外换能器均通过所述绝缘层与所述基底连接。

7.根据权利要求1所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：所述锚点结构设置在所述星形振动结构的内部。

8.根据权利要求4所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：所述面内换能器的数量为3N，所述面外换能器的数量为2N，其中N为正整数。

9.根据权利要求1所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：

所述面内换能器的换能形式包括电容、电感、热电、压电中的一种或多种组合；

所述面外换能器的换能形式包括电容、电感、热电、压电中的一种或多种组合。

10.根据权利要求1所述的基于体振动的翻转倾斜检测结构，其特征在于：所述星形振动结构的每个角部罩设有所述面内换能器，且所述面内换能器关于所述星形振动结构的角部的对角线对称。