[发明专利]一种光电探测器频率响应参数的测量方法有效
| 申请号： | 202110473282.7 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113188584B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 钱勇;丁建永 | 申请（专利权）人： | 南京先进激光技术研究院;南京中科神光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D18/00 | 分类号： | G01D18/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 王安琪 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 光电 探测器 频率响应 参数 测量方法 | ||
1.一种光电探测器频率响应参数的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将激光源(1)输出的光经隔离、衰减后照射待测光电探测器(5)；
(2)将待测光电探测器(5)接收到的光信号转换输出的电信号接入频谱仪(6)；
(3)将频谱仪(6)测量所得数据进行计算分析；在光电探测器(5)输入连续饱和光功率阈值范围内，不同确定频率处输出差分噪声电压功率谱密度和输入光功率呈线性变化，则输出噪声电压功率谱密度随频率变化曲线真实准确反映光电探测器的频率响应特性，输出噪声电压功率谱密度表述如公式(1)：
其中，f为傅里叶频率，v0(f)、vn(f)分别为背景暗电流、入射光功率为零时的输出噪声电压，基本电荷常数e＝1.6×10-19库伦，Popt为照射光电探测器的光功率，探测灵敏度S(λ)为光波长λ处对应光电转换系数，单位：安培/瓦，G(f)为对应傅里叶频率f处光电转换增益，上式改写为公式(2)：
其中，RL＝50Ω为匹配阻抗值，P0@1Hz(f)、Pn@1Hz(f)分别为背景暗电流、入射光功率为零时的输出噪声电压功率谱密度，光电探测器探测灵敏度S(λ)查阅对应探测器光敏材料光谱响应曲线即可确定，入射光功率值Popt由光功率计采集记录，频谱仪记录输出噪声电压功率谱密度P0@1Hz(f)、Pn@1Hz(f)，从而确定某频率f处光电探测器增益G(f)，扫描频率f覆盖整个探测带宽所得增益曲线即可获得光电探测器的频率响应带宽、增益平坦度和/或平均增益。
2.如权利要求1所述的光电探测器频率响应参数的测量方法，其特征在于，步骤(1)中，照射光电探测器(5)的光辐射在探测带内具有相同的功率谱密度。
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