[发明专利]曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法

说明书

一种曝光装置，借助投影光学系统向基板(P)照射照明光，相对于照明光相对地驱动基板(P)，分别对玻璃基板(P)的多个区域进行扫描曝光，该曝光装置包括：基板保持件(68)，其对基板(P)的第1区域进行悬浮支承；基板载具(70)，其保持由基板保持件(68)悬浮支承的玻璃基板(P)；X粗调台(40)，其对基板保持件(68)进行驱动；X音圈马达(84x)和Y音圈马达(84y)，二者对基板载具(70)进行驱动；以及控制装置，其在扫描曝光中对X粗调台(40)、X音圈马达(84x)等进行控制，以分别驱动基板保持件(68)和基板载具(70)。由此，能够提供一种物体位置控制性得到了提高的曝光装置。

本发明申请是国际申请日为2016年3月30日、国际申请号为PCT/JP2016/060551、进入中国国家阶段的国家申请号为201680020108.4、发明名称为“曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法”的发明申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及曝光装置、平板显示器的制造方法、器件制造方法及曝光方法，更具体来说，涉及相对于照明光对物体进行相对驱动并对物体进行扫描曝光的曝光装置及方法、以及使用了所述曝光装置或方法的平板显示器的制造方法及器件制造方法。

背景技术

目前，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等电子器件(微型器件)的光刻工序中，使用步进扫描式曝光装置(所谓的扫描步进机(也被称为扫描仪))等,这种曝光装置使光罩或标线片(以下统称为“光罩”)、玻璃板或晶圆等(以下统称为“基板”)沿着规定的扫描方向同步移动，并使用能量束将在光罩上形成的图案转印到基板上。

作为这种曝光装置，公知有为了在水平面内高速且高精度地进行基板定位，而沿着水平面内的三个自由度方向(扫描方向、扫描交叉方向及水平面内的旋转方向)对用于保持基板的基板保持件进行微小驱动。

伴随近年来的基板大型化，基板保持件越来越大型化且重量增加，基板的定位控制越来越难。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2010/0266961号说明书

发明内容

本发明是鉴于上述情况而提出的，第1方面的第1曝光装置借助光学系统向物体照射照明光，相对于所述照明光相对地驱动所述物体，并对所述物体的多个区域分别进行扫描曝光，该第1曝光装置包括:支承部，其对所述多个区域中的至少第1区域进行悬浮支承；保持部，其保持由所述支承部悬浮支承的所述物体；第1驱动系统，其对所述支承部进行驱动；第2驱动系统，其对所述保持部进行驱动；以及控制系统，其在与所述第1区域有关的扫描曝光中，对所述第1驱动系统和第2驱动系统进行控制，以分别驱动所述支承部和所述保持部。

本发明第2方面的第2曝光装置向物体照射照明光，使所述物体沿着第1方向相对于所述照明光相对地移动，并分别对所述物体的多个区域进行扫描曝光，该第2曝光装置包括：支承部，其对所述多个区域中的至少第1区域进行悬浮支承；保持部，其保持由所述支承部悬浮支承的所述物体；第1驱动系统，其沿着所述第1方向和与所述第1方向交叉的第2方向中的一个方向驱动所述支承部；以及第2驱动系统，其沿着所述第1方向和所述第2方向中的另一个方向，以使得所述第1区域脱离所述支承部的方式，相对于所述支承部相对地驱动所述保持部。

本发明第3方面的第3曝光装置借助光学系统向物体照射照明光，相对于所述照明光相对地驱动所述物体，对所述物体进行扫描曝光，该第3曝光装置包括：支承部，其对所述物体进行悬浮支承；保持部，其保持对由所述支承部悬浮支承的所述物体；以及获取部，其具有设有多个光栅区域的光栅构件和向所述光栅构件照射测量光束的读头，获取关于所述保持部的位置的信息，所述光栅构件和所述读头中的一者设置于所述保持部。

本发明第4方面的平板显示器的制造方法包括以下处理：使用本发明第1曝光装置至第3曝光装置中的任一种对所述物体进行曝光；以及对曝光了的所述物体进行显影。