[发明专利]一种嵌合式压印模板及其制作方法

说明书

本发明公开了一种嵌合式压印模板，通过一母模板压制而成，包括模板基材，模板基材上开设有若干凹槽，母模板上形成有若干压持槽，具有压持槽的母模板表面与具有凹槽的模板基材表面相对，且模板基材与母模板之间留有预设间隙，预设间隙与凹槽、压持槽之间形成一填充空间，该填充空间内涂覆有模板胶，以供模板胶固化，形成嵌合式压印模板。本发明还公开一种嵌合式压印模板的制作方法。本发明嵌合式压印模板在模板基材上辊压凹槽，采用物理固化的方法将模板胶固化在模板基材中，形成一种嵌合结构的压印模板，该压印模板多次压印以及反复使用后，模板胶与模板基材之间不会脱离，以提高压印模板的使用寿命。

技术领域

本发明涉及模板压印技术领域，具体为一种嵌合式压印模板及其制作方法。

背景技术

纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术，直接利用机械接触挤压，将压印模板上的微纳结构图形转移到待加工材料上，完成图形转移，实现微纳图形制作的技术。自20世纪90年代中期美国普林斯顿大学stephen.y.chou.教授发明纳米压印技术以来，该项技术获得了长足的发展，最高加工精度已达到2nm，压印模板的压印技术有望取代传统的光刻技术，成为微电子、材料领域的重要加工手段。

纳米压印技术与传统的光刻技术相比，纳米压印技术的图形不受光学衍射极限的限制，所以具有高的分辨率。与高精度的电子束光刻技术相比，纳米压印技术成本低，生产效率高。因而，纳米压印广泛应用于半导体加工，光电子器件中。

为实现纳米压印，首先要制作高精度的压印模板，压印模板是纳米压印工艺的关键工序，其质量直接决定了压印效果。目前常规的压印模板制作方法是采用将模板胶与增粘处理的模板基材黏合在一起，该压印模板多次压印以及反复使用时间久后会使模板胶与基材脱离，导致压印模板报废，降低压印模板的使用寿命。

发明内容

本发明的目的在于提供一种提高使用寿命的嵌合式压印模板。

一种嵌合式压印模板，通过一母模板压制而成，包括模板基材，所述模板基材上开设有若干凹槽，所述母模板上形成有若干压持槽，具有压持槽的母模板表面与具有凹槽的模板基材表面相对，且所述模板基材与所述母模板之间留有预设间隙，预设间隙与凹槽、压持槽之间形成一填充空间，该填充空间内涂覆有模板胶，以供模板胶固化，形成嵌合式压印模板。

进一步的，所述凹槽等间距开设在模板基材上，凹槽的截面形状呈等腰梯形状结构，凹槽的槽底截面尺寸大于槽口截面尺寸。

本发明还公开一种嵌合式压印模板的制作方法，包括以下步骤：

步骤1）：选择通过加热均可以变形的模板基材并在模板基材上辊压凹槽；

步骤2）：在母模板与模板基材之间的填充空间内涂覆模板胶，以使母模板与模板基材紧密贴合，并使模板胶固化；

步骤3）：固化模板胶后，将母模板沿模板胶剥离后，模板胶与模板基材形成嵌合式压印模板，压印模板的图案与母模板的压持槽相对。

进一步的，所述步骤1中在具有凹槽的模板基材表面涂覆一层增粘剂。

进一步的，所述步骤1中的模板基材通过具有内嵌结构的压持辊对模板基材压制所述凹槽。

进一步的，所述步骤1中的模板基材为PET薄膜或PVC薄膜或环氧树脂类薄膜。

进一步的，所述步骤2中的模板胶固化采用加热固化或紫外灯照射固化。

进一步的，所述步骤1中的模板基材为PET薄膜，加热温度为230-260℃，压力为0.8-1.2Mpa。

进一步的，所述步骤2中的模板胶固化通过在模板胶两侧对应设置两列相干光源发生干涉，以对模板胶形成照射区域，在所述模板胶上形成干涉条纹，并实现模板胶固化。