[发明专利]一种应用于探针台的多通道测试装置

说明书

本发明涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。包括工作台，工作台的台面上设置有显微镜位移台，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台和晶圆卡盘机构；显微镜位移台包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构；探卡翻转位移台包括探卡Y轴位移组件和若干探卡X轴位移组件，若干探卡X轴位移组件均通过探卡翻转机构滑动设置在探卡Y轴位移组件上；若干探卡X轴位移组件上均滑动设置有若干探卡机构，若干探卡机构均包括探卡四轴微调滑台和探卡；晶圆卡盘机构设置在探卡机构的下方。本发明可装备多组探卡机构，每个探卡机构均可在三维空间内进行大行程快速移动和小行程的精准定位，从而组成多通道测试装备，满足不同大小和高度芯片的扎针。

技术领域

本发明涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种应用于探针台的多通道测试装置。

背景技术

随着科学技术的进步，在半导体集成电路的性能方面，相关的一些行业就提出了很高的要求。这在很大程度上促进了半导体集成电路的发展，整体而言，目前的半导体集成电路的发展的主要目标就是达到高度的准确性，但是随着生产的要求逐渐提高，制造的技术和过程比之前也复杂了很多。所以为了有效监测集成电路是否达到预定的可靠性和稳定性要求并降低生产成本，有必要采用一些方法对于集成电路的可靠性进行一定程度的检测。可靠性在实际的应用过程中产生着非常重要的作用。很多时候，可靠性被用来评估产品能否在规定条件下和规定的时间内完成特定的功能。

到目前为止，我国采用被动筛选的方法进行半导体的可靠性检测，但是被动筛选需要得到庞大的资金支持和人员维护，而且筛选的方式比较基础，通过不同环境下长时间测试完成，因此整个而言效率不是很高。

在现有技术中，芯片可靠性测试主要是通过探针在特定环境中进行测试，但由于每次测试的Die只有一个或者少数几个，基于时间较长，超大批量的测试而言，现在的测试设备和测试手段无法满足测试需求。而且随着客户的需求，同一张晶圆上也会分区域制作不同芯片，测试时需频繁更换探针，影响测试时间和测试效率。

现有的测试设备所提供的测试环境比较单一，导致测试结果准确性不足。同时，现有测试设备在测试过程中稳定性和调节范围较小不利于大批量测试和结构升级。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种可同时装备若干张探卡，每张探卡都能够进行水平快速移动，同时可以快速翻转更换探卡，每张探卡都能够进行四轴精确微调，从而组成应用于探针台的多通道测试装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种应用于探针台的多通道测试装置，包括工作台，其特征在于：

所述工作台的台面上设置有显微镜位移台，其内部工作腔设置有探卡翻转位移台和晶圆卡盘机构；

所述显微镜位移台包括三轴位移组件，其前端设置有显微镜机构；

所述探卡翻转位移台包括探卡Y轴位移组件和若干探卡X轴位移组件，所述若干探卡X轴位移组件均通过探卡翻转机构滑动设置在所述探卡Y轴位移组件上；

所述若干探卡X轴位移组件上均滑动设置有若干探卡机构，所述若干探卡机构均包括探卡四轴微调滑台和探卡；

所述晶圆卡盘机构设置在所述探卡机构的下方。

进一步地，所述探卡四轴微调滑台包括探卡Z轴微调滑台、探卡X轴微调滑台、探卡Y轴微调滑台和探卡θ轴微调滑台；所述探卡机构通过探卡滑块滑动设置在所述探卡X轴位移组件的滑轨上，所述探卡Z轴微调滑台设置在所述探卡滑块的后端，所述探卡X轴微调滑台设置在所述探卡Z轴微调滑台的后端，所述探卡Y轴微调滑台通过L形转接板设置在所述探卡X轴微调滑台的下端，所述探卡θ轴微调滑台设置在所述探卡Y轴微调滑台的下端，所述探卡通过快拆机构设置所述探卡θ轴微调滑台的前端。

进一步地，所述探卡机构上还设置有线缆保护罩。