[发明专利]一种复合薄膜及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 202110467886.0 申请日: 2021-04-28
公开(公告)号: CN113186494B 公开(公告)日: 2023-03-24
发明(设计)人: 王奕涵 申请(专利权)人: 江苏壹光科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/12;C23C14/18;C23C14/54;H10K50/844
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 刘奇
地址: 213363 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合 薄膜 及其 制备 方法 应用
【说明书】:

发明属于有机发光二极管封装技术领域,具体涉及一种复合薄膜及其制备方法和应用。本发明提供了一种复合薄膜,包括交替层叠设置的金属/金属氟化物层和含氟有机物层;所述金属/金属氟化物层的材料包括金属和金属氟化物;所述含氟有机物层的材料包括全氟酞菁铜;所述金属的粒径大于金属氟化物的粒径。本发明采用金属和金属氟化物相结合,能够提高复合薄膜对空气的隔绝效果;同时结合含氟有机物层,进一步提高了复合薄膜防水性能和对氧气的阻挡性能。将其应用于OLED封装,能够提高封装的可靠性,延长器件的使用寿命。

技术领域

本发明属于有机发光二极管封装技术领域,具体涉及一种复合薄膜及其制备方法和应用。

背景技术

有机发光二极管(OLED)具有自发光、宽视角、高对比度、可挠曲、相应速度快和低功耗等特性,作为新一代的显示技术,已开始逐渐取代传统液晶显示器。OLED采用有机材料涂层作为发光材料,当电流通过时,有机材料即会发光。但是这些有机发光材料容易和水及氧气发生反应,导致器件发光亮度下降、寿命衰减。因此需要对OLED器件进行封装处理。

传统的封装方式主要为盖板封装,在器件制作后,将器件放在氮气环境下,在其顶部加一个刚性盖板,在盖板内侧固定足量的干燥剂,采用环氧树脂作为黏连胶体,将盖板和器件进行封装。但由于盖板本身不具有疏水性以及盖板和环氧树脂之间的缝隙无法避免,同时环氧树脂本身老化快,在长时间的使用过程中,水和氧气依然会渗入器件,降低封装的可靠性,造成OLED器件的性能下降甚至失效。

发明内容

本发明提供了一种复合薄膜,将其应用于OLED器件的封装时,能够有效的提高封装的可靠性,有效避免水和氧气的渗入而造成的OLED器件性能下降的问题。

为了实现上述目的,本发明提供如下技术方案:

本发明提供了一种复合薄膜,包括交替层叠设置的金属/金属氟化物层和含氟有机物层;

所述金属/金属氟化物层的材料包括金属和金属氟化物;

所述含氟有机物层的材料包括全氟酞菁铜;

所述金属的粒径大于金属氟化物的粒径。

优选的,所述金属包括金、银或铝;

所述金属氟化物包括碱金属氟化物和碱土金属氟化物中的一种。

优选的,所述金属和金属氟化物的质量比为1~2:1。

优选的,所述金属/金属氟化物层和含氟有机物层的厚度独立的为10~100nm。

优选的,所述金属/金属氟化物层和含氟有机物层的层数均≥1;所述金属/金属氟化物层和含氟有机物层依次交替层叠设置,且所述金属/金属氟化物层和含氟有机物层的层数相同。

本发明还提供了上述技术方案所述的复合薄膜的制备方法,包括以下步骤:

在基体表面同时第一蒸镀金属和金属氟化物,得到金属/金属氟化物层;

在所述金属/金属氟化物层表面第二蒸镀全氟酞菁铜,得到复合薄膜。

优选的,第一蒸镀和第二蒸镀的蒸镀速度独立的为

优选的,进行第一蒸镀时,所述金属的蒸镀电流为25~160A;

所述金属氟化物的蒸镀电流为55~65A;

所述第二蒸镀的电流为60~70A。

优选的,所述第二蒸镀完成后,还包括依次重复所述第一蒸镀和第二蒸镀;

所述重复的次数≥1。

本发明还提供了上述技术方案所述的复合薄膜或者上述技术方案所述制备方法制备得到的复合薄膜在OLED器件封装中的应用。

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