[发明专利]一种调平系统和运动台在审
| 申请号： | 202110466119.8 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN114038773A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 罗岩;傅为一;陆海亮;谢扬 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃苏科思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68 |
| 代理公司： | 苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙) 32367 | 代理人： | 翁德亿 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区高铁*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 系统 运动 | ||
1.一种调平系统，其特征在于，包括：计算单元、控制阀、空气隔振器、第一类补偿器和第一类传感器，
所述计算单元用于根据平台的质心变化轨迹计算出隔振器的压力轨迹曲线，
所述控制阀分别与所述计算单元以及空气隔振器相连，所述控制阀用于根据压力轨迹曲线控制空气隔振器的运转，
所述第一类传感器用于获得平台的垂向实际位置值，
所述第一类补偿器与所述第一类传感器相连，所述第一类补偿器用于根据所述实际位置值和设定位置值的差值计算出需要补偿的气压值。
2.根据权利要求1所述的调平系统，其特征在于，所述调平系统还包括第二类传感器，第二类补偿器和垂向力补偿电机，
所述第二类传感器用于获得空气隔振器的末端压强值，
所述第二类补偿器与所述第二类传感器相连，所述第二类补偿器用于根据末端压强值和设定压强值计算出需要补偿的力差值，
所述垂向力补偿电机与所述第二类补偿器相连，所述垂向力补偿电机用于输出补偿力，所述补偿力的大小等于所述力差值。
3.根据权利要求2所述的调平系统，其特征在于，所述第二类传感器为气压传感器。
4.根据权利要求2所述的调平系统，其特征在于，所述空气隔振器的数量为多个，所述垂向力补偿电机的数量与所述空气隔振器的数量相同，所述垂向力补偿电机与所述空气隔振器一一对应设置。
5.根据权利要求1所述的调平系统，其特征在于，所述计算单元包括质心计算模块和压力计算模块，所述质心计算模块用于根据平台的运动轨迹计算出平台的质心变化轨迹，所述压力计算模块用于根据质心变化轨迹计算出隔振器的压力轨迹曲线。
6.根据权利要求1所述的调平系统，其特征在于，所述第一类传感器为垂向位置传感器。
7.根据权利要求1所述的调平系统，其特征在于，所述控制阀为压力比例阀。
8.一种运动台，包括平台，所述平台上设置有运动机构，其特征在于，还包括权利要求1至7中任意一项所述的调平系统，所述平台由所述调平系统支撑。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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