[发明专利]真空泵

说明书

提供了能够在不受噪声或短周期的负载变动所影响的情况下判定泵内部的反应生成物的堆积、并能够促进与其判定结果对应的适当应对的真空泵。检测值31通过低通滤波器33，被A/D转换器35数字变换，之后，输入到对比部37。在对比部37中，与阈值39对比。阈值39例如根据生成物的量而具有HH水平、H水平、L水平这3阶段的值。然后，在所输入的检测值信号为该HH水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出泵停止信号41。另一方面，在所输入的信号为该HH水平不足且H水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出H水平警报信号43。此外，在所输入的信号为该H水平不足且L水平以上的情况下，由堆积物运算部27输出L水平警报信号45。

技术领域

本发明涉及真空泵，特别地涉及能够在不受噪声或短周期的负载变动所影响的情况下判定泵内部的反应生成物的堆积、并且能够促进与该判定结果对应的适当应对的真空泵。

背景技术

伴随着近年的电子器件的发展，存储器或集成电路这样的半导体的需要急剧地增大。

这些半导体通过向纯度极高的半导体基板掺杂杂质来提供电气性质、或通过蚀刻在半导体基板上形成微细的电路等来制造。

然后，这些作业需要在高真空状态的腔室内进行以避免空气中的尘土等的影响。在该腔室的排气中，一般使用真空泵，但是，特别地，从残留气体较少、保养容易等方面出发，较多地使用作为真空泵中的一种的涡轮分子泵。

此外，在半导体的制造工序中，存在使各种工艺气体作用于半导体的基板的许多工序，涡轮分子泵不仅用于使腔室内变为真空，还用于从腔室内排出这些工艺气体。

然而，当工艺气体在排气时被冷却而变为某一温度、或压力增加而超过某一值时，存在变为固体而在排气系统中析出生成物的情况。然后，存在这种工艺气体在涡轮分子泵内变为低温而变为固体状、附着并堆积于涡轮分子泵内部的情况。

当工艺气体的析出物在涡轮分子泵内部堆积时，成为该堆积物使泵流路变窄而使涡轮分子泵的性能降低、或者与作用于涡轮分子泵的旋转体的工艺气体的摩擦阻力增加而使旋转体的温度上升并使其材料寿命降低的原因。因此，需要在生成物的堆积量多到某种程度的时间点中断涡轮分子泵的运转、对涡轮分子泵内部进行洗净等来除去所堆积的生成物的检修（overhaul）。为了在适当时期实施该检修，期望确定准确地判定反应生成物的堆积量的技术。

作为判定该涡轮分子泵的内部的反应生成物的堆积的方法，已知专利文献1。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2020-20272号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1的方法中，成为反应生成物的堆积的指标的电动机的功耗、逆变器电流、电源装置的输入电流值、功耗、转子的转速的变化量的检测值还因与反应生成物的堆积量关联性较低的短周期或突发性的真空泵的负载变动或噪声等而变动。因此，对与反应生成物关联性较低的这些变动进行感测，即使在堆积物的堆积量较少的状况下，也误判定为堆积量过剩，在判定的可靠性中存在问题。

此外，该方法只能判定堆积物的堆积量是否过剩这两种状况。因此，在判定为过剩的情况下，在真空泵的使用现场特别是半导体制造工厂中，不能适当地判断是不等预先在制造装置的运转计画中设定的停止时期而必须立即停止真空泵、还是能够继续运转到下一停止时期这样的紧急性，而可能招致制造装置的无用的紧急停止和由此造成的半导体生产量的降低。

本发明鉴于这样的以往问题而完成，目的在于，提供能够在不受噪声或短周期的负载变动所影响的情况下判定泵内部的反应生成物的堆积、并能够促进与该判定结果对应的适当应对的真空泵。

用于解决课题的方案