[发明专利]短弧型放电灯

说明书

本发明提供一种短弧型放电灯，在发光管的内部相对配置有一对电极，在所述一对电极中的至少一个电极的外表面形成有散热层，在该短弧型放电灯中，散热性优异，且不会产生膜剥离，寿命长。短弧型放电灯在发光管的内部相对配置有一对电极，其中，在一对电极中的至少一个电极的外表面形成有鳞状构造，鳞状构造包括多个鳞片状的突起，所述突起向相对于外表面的法线方向倾斜的方向从外表面突出，并具有与外表面所成的角度为钝角的表面及与外表面所成的角度为锐角的背面，形成有鳞状构造的外表面由包含金属氧化物、金属碳化物、金属硼化物、金属硅化物及金属氮化物中的至少一种的被膜覆盖，被膜的一部分进入由背面和外表面夹着的空间。

技术领域

本发明涉及短弧型放电灯，尤其涉及为了在灯点亮时使电极温度降低而在电极的外表面形成有散热层的短弧型放电灯。

背景技术

例如在半导体元件、液晶显示元件等的制造工序所使用的曝光装置、各种放映机中，使用短弧型放电灯(以下也简称为“灯”)作为光源。该短弧型放电灯构成为在发光管内将阳极和阴极彼此相对配置，并且在该发光管内封入水银、氙气等发光物质。

在这样的短弧型放电灯中，已知由于在点亮时施加于阳极的热负荷高，因此产生由阳极的过热等引起的电极材料的蒸发，该蒸发物附着于发光管的内壁而使光透射率降低，即产生所谓的黑化。

为了解决这样的问题，已知有在电极表面形成散热层来抑制电极的温度上升的技术，在下述专利文献1中公开了在电极的除了前端附近之外的外表面形成有包含至少一种金属氧化物的散热层的灯。

这样的散热层具有在制造时难以附着于电极表面且容易剥离的问题，特别是金属氧化物等陶瓷即使在高温下也稳定，因此显著产生该问题。

另外，存在如下问题：构成电极的钨的热膨胀系数为4.5×10^-6/K，与此相对，例如构成散热层的氧化锆的热膨胀系数为10.5×10^-6/K，相差较大，有时会因为由灯的点亮和熄灭引起的电极的膨胀和收缩而导致散热层剥离。

作为这样的问题的解决方法，进行了通过喷砂处理等来增加电极表面的凹凸，并通过锚定效果提高剥离强度的尝试。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004－259639号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，通过基于电极表面的切削加工的槽加工、喷砂处理等形成的凹凸只不过是在电极表面形成凹陷，针对相对于电极表面的水平方向的力具有一定程度的锚定效果，但不能说针对沿电极表面的法线方向剥离的力的锚定效果强，有时会产生剥离。

本发明鉴于上述课题，提供一种短弧型放电灯，在发光管的内部相对配置有一对电极，在所述一对电极中的至少一个电极的外表面形成有散热层，在该短弧型放电灯中，散热性优异，且不会产生膜剥离，寿命长。

用于解决课题的技术方案

本发明所涉及的短弧型放电灯在发光管的内部相对配置有一对电极，其中，

在所述一对电极中的至少一个电极的外表面形成有鳞状构造，

所述鳞状构造包括多个鳞片状的突起，所述突起向相对于所述外表面的法线方向倾斜的方向从所述外表面突出，并具有与所述外表面所成的角度为钝角的表面及与所述外表面所成的角度为锐角的背面，

形成有所述鳞状构造的所述外表面由包含金属氧化物、金属碳化物、金属硼化物、金属硅化物及金属氮化物中的至少一种的被膜覆盖，

所述被膜的一部分进入由所述背面和所述外表面夹着的空间。