[发明专利]表贴二极管及制造方法在审
申请号: | 202110460679.2 | 申请日: | 2021-04-27 |
公开(公告)号: | CN113193050A | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 刘德军;古进;石文坤;杨春梅;肖摇;齐胜伟 | 申请(专利权)人: | 中国振华集团永光电子有限公司(国营第八七三厂) |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L23/488;H01L23/31;H01L21/329;H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人: | 张祥军 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 二极管 制造 方法 | ||
本发明提供了一种表贴封装二极管及其制造方法,该表贴二极管包括管芯,所述管芯的上端面设有上电极片,管芯的下端面设有下电极片,管芯与上电极片、下电极片之间通过蒸铝层烧焊在一起,管芯、上电极片、下电极片的侧面包覆有钝化玻璃,下电极片的下端凸出钝化玻璃,上电极片的上端设有变形电极片。本发明安装使用时,管芯、上电极片、下电极片与安装PCB板面平行,加大管芯与电极片尺寸即可加大产品的功率,其高度不会增加;下电极片整个面直接与散热器或PCB板接触,散热效果得到了大大改善;根据需要,器件结构可设为圆柱形、方形等任意形状,且径向尺寸小;安装适应性好。
技术领域
本发明涉及二极管技术领域,具体涉及一种表贴二极管及制造方法。
背景技术
随着电子系统向小型化、轻量化、簿型化方向发展,对小型化贴片器件的需求越来越大。塑封表贴器件虽然在尺寸上满足了要求,但因其封装可靠性限制,只能运用于中低端市场。玻璃钝化实体封装二极管以其高温稳定性、抗辐照能力强、可靠性高、成本低等优势,广泛应用于中高端领域;但目前了解到的玻璃钝化实体封装表贴二极管的尺寸都比较大,安装在PCB板上后高度较高,功率越大高度越高,很难满足电子系统小型化、轻量化、簿型化的要求。
公开号为CN112186043A的中国专利公开了一种玻璃钝化表贴二极管及其制造方法,该玻璃钝化表贴二极管包括两电极片,两电极片之间设有管芯,电极片通过蒸铝层与管芯连接,管芯、两电极片和蒸铝层均封装在钝化玻璃内,电极片上远离管芯的一端沿管芯的径向延伸到钝化玻璃外。该二极管通过钼片减小电极尺寸,通过电极片沿管芯径向延伸,当管芯尺寸增大时,只需增大钼片的焊盘尺寸,无需增加厚度。然而,在管芯径向的钝化玻璃上需要预留钼片的弯折空间,因此径向尺寸难以进一步减小,而且由于钼片电极的限制,难以根据需要做成任意形状;而且管芯、两电极片和蒸铝层均封装在钝化玻璃内,不利于散热。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提供了一种表贴二极管及制造方法。
本发明通过以下技术方案得以实现。
本发明提供了一种表贴封装二极管,包括管芯,所述管芯的上端面设有上电极片,管芯的下端面设有下电极片,管芯与上电极片、下电极片之间通过蒸铝层烧焊在一起,管芯、上电极片、下电极片的侧面包覆有钝化玻璃,下电极片的下端凸出钝化玻璃,上电极片的上端设有变形电极片。
所述管芯、上电极片、下电极片与变形电极片相互平行。
所述变形电极片为铜片。
所述变形电极片与上电极片之间通过银铜焊片焊接。
所述上电极片向横向伸出钝化玻璃后向下弯折,再横向弯折,横向弯折部分的下端与下电极片的下端处于同一平面。
所述银铜焊片的上端凸出钝化玻璃。
所述上电极片、下电极片为钼片。
所述管芯的正面投影呈梯形结构。
本发明还提供了上述表贴二极管的制造方法,包括如下步骤:
步骤一、单晶片,选择电阻率为0.003Ω·cm~500Ω·cm的N型单晶硅片,从一面磨片至厚度200~350μm;
步骤二、磷硼扩散,对N型单晶硅片进行磷硼扩散,磷面结深10~80μm,方块电阻≤3Ω/□,硼面结深10~80μm,方块电阻≤5Ω/□;
步骤三、喷砂,用压缩空气携带金刚砂去除硼扩散面形成的硼硅玻璃层;
步骤四、蒸铝,在保留的磷扩散面蒸铝,细磨面不蒸铝,形成蒸铝层;
步骤五、裂片,裂片成所需尺寸,裂片后在HF:HNO3=1:5(体积比)的腐蚀剂中腐蚀80~180S,腐蚀后大量冷去离子水冲洗,酒精脱水烘干;
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