[发明专利]一种含氟清洗液组合物有效
| 申请号： | 202110459926.7 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113150885B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 王溯;蒋闯;冯强强;史筱超;王亮 | 申请（专利权）人： | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/722 | 分类号： | C11D1/722;C11D3/04;C11D3/20;C11D3/28;C11D3/30;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/39;C11D3/60;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 王卫彬;陈卓 |
| 地址： | 201616 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种含氟清洗液组合物，其由下述质量分数的组分组成：15%的过氧化氢、0.005%的还原型谷胱甘肽、0.25%的半胱氨酸、2.5%的氟化氢、2.5%的四甲基氢氧化铵、1.0%的乙二胺四乙酸、0.5%的苯并三唑、1.0%的草酸铵、0.05%的EO-PO聚合物L31、0.7%的1-(苯并三氮唑-1-甲基)-1-(2-甲基苯并咪唑)和去离子水，去离子水补足余量。
2.一种试剂盒，其特征在于，所述的试剂盒包含一个或多个容器，所述的容器内含有形成含如权利要求1所述的氟清洗液组合物的各个组分混合的一组分、各组分独立的多组份或将各组分分成若干组的多组份；
所述的组分为15%的过氧化氢、0.005%的还原型谷胱甘肽、0.25%的半胱氨酸、2.5%的氟化氢、2.5%的四甲基氢氧化铵、1.0%的乙二胺四乙酸、0.5%的苯并三唑、1.0%的草酸铵、0.05%的EO-PO聚合物L31、0.7%的1-(苯并三氮唑-1-甲基)-1-(2-甲基苯并咪唑)和去离子水，去离子水补足余量。
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