[发明专利]一种一体式的窄边框光电探测器及其制作方法

权利要求书

1.一种一体式的窄边框光电探测器，包括阴极窗（1）、光电阴极（2）、微通道板电子倍增器（3）、绝缘管壳（4）、电荷收集阳极（5）、电极引线（6）以及铟封槽（7）；

所述阴极窗（1）设置在绝缘管壳（4）上端，与绝缘管壳（4）构成真空密封腔室；光电阴极（2）设置在阴极窗（1）的下表面；微通道板电子倍增器（3）位于真空密封腔室内，与绝缘管壳（4）固定连接；

其特征在于：

所述电荷收集阳极（5）设置在绝缘管壳（4）的底面（401）上，其阳极插针（502）通过设置在底面（401）上的阳极插针孔（501）伸出绝缘管壳（4）；

电极引线（6）一端与微通道板电子倍增器（3）连接，另一端从底面（401）穿过，伸出真空腔室，与外部供电电源连接；电极引线（6）与底面（401）上的电极引线孔（601）真空密封封接；

所述绝缘管壳（4）为凹槽状的长方体或正方体或圆柱体，由底面（401）及侧面（402）组成一体式结构；侧面（402）上设置有卡槽（403），所述微通道板电子倍增器（3）与绝缘管壳（4）通过卡槽（403）卡接连接；

所述微通道板电子倍增器（3）的横截面为与绝缘管壳（4）形状相适配的长方形、正方形或圆形；

铟封槽（7）设置在阴极窗（1）和绝缘管壳（4）上端面之间，与绝缘管壳（4）真空密封封接。

2.根据权利要求1所述的一种一体式的窄边框光电探测器，其特征在于：

所述绝缘管壳（4）的侧面（402）上端面与铟封槽（7）钎焊封接；

所述绝缘管壳（4）为陶瓷或玻璃材料，其侧面（402）壁厚为0.2mm-3mm。

3.根据权利要求2所述的一种一体式的窄边框光电探测器，其特征在于：

所述微通道板电子倍增器（3）包括一层或多层微通道板组件；

每层所述微通道板组件包括依次叠放的金属电极薄片环（302）、微通道板（301）、金属电极薄片环（302）；所述微通道板组件与阴极窗（1）之间、微通道板组件与底面（401）之间均设置一个或多个绝缘垫片（303）；

电极引线（6）焊接在金属电极薄片环（302）上；

所述阴极窗（1）内表面为平面或者凸面；

所述绝缘垫片（303）的厚度为0.2mm-2mm；

所述金属电极薄片环（302）的厚度为0.02mm-1mm；

上层微通道板（301）与阴极窗（1）之间的距离为0.1mm-5mm；

下层微通道板（301）与电荷收集阳极（5）之间的距离为0.5mm-10mm。

4.根据权利要求3所述的一种一体式的窄边框光电探测器，其特征在于：

所述电极引线（6）与底面（401）上的电极引线孔（601）为钎焊封接；

所述光电阴极（2）通过蒸镀方式附着在阴极窗（1）内表面；光电阴极（2）厚度为10nm-1μm；所述光电阴极（2）为对可见光响应的CsKNaSb多碱阴极，或CsK₂Sb双碱阴极，或对紫外光响应的Cs₂Te，CsI，Rb₂Te或K₂TeCs阴极，或金阴极，或对红外光响应的AgOCs、GaAs(Cs)或InGaAs(Cs)阴极；

所述电荷收集阳极（5）通过镀膜方式附着在底面（401）上；阳极插针（502）与阳极插针孔（501）钎焊封接；

所述阴极窗（1）为硼硅玻璃、透紫玻璃、石英玻璃或氟化镁、蓝宝石材料；

所述绝缘垫片（303）为陶瓷或云母材料。

5.根据权利要求2-4任一所述的一种一体式的窄边框光电探测器，其特征在于：

所述电荷收集阳极（5）为单阳极或位敏型阳极；所述位敏型阳极为电荷分割型阳极、延迟线阳极、楔条型阳极或十字交叉条阳极；所述电荷收集阳极（5）的厚度为0.1mm-5mm；

所述钎焊的焊接漏率小于＜1E-11Pa·m³/s。