[发明专利]一种梯形滤波器的布局方法

说明书

本发明公开了一种梯形滤波器的布局方法，根据多个谐振器的数量、级联关系以及每个谐振器的面积，从多个谐振器中划分出多个谐振器单元，然后确定每个谐振器单元的整体占用面积最小的组合方式，并将整体占用面积最小的组合方式和整体占用面积最小的排列方式作为目标布局方式，按照目标布局方式，在单个晶粒上布局多个谐振器。通过将多个谐振器划分为多个谐振器单元，并以每个谐振器单元的整体占用面积最小的组合方式，和多个谐振器单元的整体占用面积最小的排列方式，在有限的空间结构中布局多个谐振器，使多个谐振器在布局上排列得更加紧凑，能够减小谐振器占用单个晶粒的面积，从而在一片晶圆上能够制作更多颗的晶粒，进而提高晶圆的利用率。

技术领域

本发明涉及微电子器件领域，尤其涉及一种梯形滤波器的布局方法。

背景技术

随着无线通信技术的发展，薄膜体声波滤波器(FBAW，Film Bulk Acoustic Wave)具有体积小、插入损耗低、工作频率高、与互补金属氧化物半导体(CMOS)兼容等优点，极可能成为下一代滤波器，也是最有可能实现射频模块全集成化的滤波器。

BAW滤波器主要由多个BAWR谐振器(BAWR，Bulk Acoustic Wave Resonators)串和/或并联构建而成。BAW滤波器相比于传统的声表面波(SAW，Surface Acoustic Wave)滤波器和介质陶瓷滤波器，具有工作频率高、体积小、品质因数高、生产成本低、便于集成等优势。

而随着无线通信技术的快速发展，使BAW滤波器频率升高、体积和尺寸不断减小，这就要求BAW滤波器在特定大小的封装里的布局要更加的紧凑，以提高空间的利用率。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种梯形滤波器的布局方法，在有限的空间结构中进行布局，使谐振器在布局上排列得更加紧凑，并使谐振器有效面积更大，从而提高梯形滤波器的性能。

为实现上述目的，本发明实施例提供了一种梯形滤波器的布局方法，所述方法包括以下步骤：根据多个谐振器的数量、级联关系以及每个谐振器的面积，从多个谐振器中划分出多个谐振器单元，每个谐振器单元中的任意的两个谐振器的级联关系为直接连接，然后确定每个谐振器单元的整体占用面积最小的组合方式，以及多个谐振器单元的整体占用面积最小的排列方式，并将整体占用面积最小的组合方式和整体占用面积最小的排列方式作为目标布局方式，按照目标布局方式，在单个晶粒上布局多个谐振器。采用本发明实施例提供的方法，通过将多个谐振器划分为多个谐振器单元，并以每个谐振器单元的整体占用面积最小的组合方式，和多个谐振器单元的整体占用面积最小的排列方式，在有限的空间结构中布局多个谐振器，能够使多个谐振器在布局上排列得更加紧凑，并使多个谐振器有效面积更大，进而有效提高梯形滤波器的性能。

进一步的，通过将多个谐振器划分为多个谐振器单元，并以每个谐振器单元的整体占用面积最小的组合方式，和多个谐振器单元的整体占用面积最小的排列方式，在有限的空间结构中布局多个谐振器，使多个谐振器在布局上排列得更加紧凑，还能够减小谐振器占用单个晶粒(die)的面积，从而在一片晶圆(wafer)上能够制作更多颗的晶粒，进而提高晶圆的利用率。

附图说明

图1是本发明实施例提供的梯形滤波器的布局方法的一种实施例的流程示意图；

图2是本发明实施例提供的梯形滤波器的多个谐振器的级联关系示意图；

图3是本发明实施例提供的确定每个谐振器单元的组合方式的一种实施例的流程示意图；

图4是本发明实施例提供的预设的多种组合方式中的部分组合方式示意图；

图5是本发明实施例提供的梯形滤波器的第一种布局示意图；

图6a是本发明实施例提供的布局方案对应的梯形滤波器的第一种仿真结果示意图；

图6b是图6a中带内仿真曲线局部放大图；