[发明专利]一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置

说明书

本发明公开了一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置，包括：弯形圆盘，弯形圆盘上设于若干弯形孔；固定柱，固定柱设于弯形圆盘顶端；直形圆盘，直形圆盘套接于固定柱上，直形圆盘上设有若干直形孔；夹紧杆，夹紧杆底端设有夹紧盘，夹紧杆顶端依次穿过弯形孔和直形孔；固定环，固定环固定套接于夹紧杆上，固定环位于弯形圆盘和夹紧盘之间；固定螺母，固定螺母套接于夹紧杆上，固定螺母与夹紧杆之间通过螺纹连接，固定螺母位于直形圆盘的上方。通过转动弯形圆盘来使多个夹紧杆向圆盘中心运动来使夹紧盘卡与多晶材料中，然后转动螺母完成对多晶材料的夹紧；同时，夹紧杆运动时可以对不同直径的多晶材料完成夹紧。

技术领域

本发明涉及非金属晶体技术领域，更具体地说，本发明涉及一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置。

背景技术

硅材料是现代信息社会的基础，它不仅是光伏发电等产业的主要功能材料，也是半导体产业，特别是电力电子器件的基础材料。区熔法(FZ)生产单晶硅是区别于直拉炉(CZ)的一种新型的单晶生长方法，它利用高频感应加热线圈将高纯度的多晶料局部融化，熔区依靠熔硅的表面张力和加热线圈提供的磁托浮力而处于悬浮状态，然后从熔区的下方利用籽晶将熔硅拉制成单晶。由于没有坩埚污染，区熔炉生长的单晶硅纯度高，均匀性好，低微缺陷，其优良的电学性能非常适合制作高反压、大电流、大功率的电力电子器件。一般区熔单晶生产的过程是按照如下的顺序进行的：炉室清理——多晶料装炉——晶体生长——停炉冷却——取出单晶。其中炉室清理、装料等准备工作时间占整个生产周期比例较高，造成生产效率不高。同时由于区熔法生产单晶纯度、均匀性要求较高，且区熔生长法熔区呈悬浮状态，多晶硅料微小的震动都可能打破熔区的平衡状态。但是现有的固定装置无法根据硅材料的直径大小来进行对应的固定，需要根据硅材料的直径不同准备不同的固定装置。因此，有必要提出一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置，以至少部分地解决现有技术中存在的问题。

发明内容

在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

为至少部分地解决上述问题，本发明提供了一种用于拉晶设备的可调式多晶料夹持装置，包括：

弯形圆盘，所述弯形圆盘上设于若干弯形孔；

固定柱，所述固定柱设于所述弯形圆盘顶端；

直形圆盘，所述直形圆盘套接于所述固定柱上，所述直形圆盘上设有若干直形孔；

夹紧杆，所述夹紧杆底端设有夹紧盘，所述夹紧杆顶端依次穿过所述弯形孔和直形孔；

固定环，所述固定环固定套接于所述夹紧杆上，所述固定环位于所述弯形圆盘和夹紧盘之间；

固定螺母，所述固定螺母套接于所述夹紧杆上，所述固定螺母与所述夹紧杆之间通过螺纹连接，所述固定螺母位于所述直形圆盘的上方。

优选的，固定球，所述固定球设于所述固定柱顶端；

所述夹紧杆上设有水平装置，所述水平装置包括：

水平圆盘，所述水平圆盘平行设于所述直形圆盘的上方，所述固定柱穿过所述水平圆盘；

调节螺杆，所述调节螺杆一端与调节螺母通过螺纹连接，所述调节螺杆的另一端穿过所述水平圆盘。

优选的，所述直形圆盘顶端还设有辅助固定装置，所述辅助固定装置包括：

壳体，所述壳体设于所述直形圆盘顶端；

传动腔，所述传动腔设于所述壳体内；

刻度腔，所述刻度腔设于所述壳体内，所述刻度腔位于所述传动腔的上方；