[发明专利]一种透明电磁屏蔽膜在审
| 申请号： | 202110455306.6 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113068391A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 胡业新;于佩强;刘世琴;刘荣欢 | 申请（专利权）人： | 江苏日久光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H05K9/00 | 分类号： | H05K9/00 |
| 代理公司： | 苏州科仁专利代理事务所(特殊普通合伙) 32301 | 代理人： | 郭杨 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 透明 电磁 屏蔽 | ||
1.一种透明电磁屏蔽膜，其特征在于：包括基材层（1）、自所述基材层（1）通过磁控溅射工艺依次层镀设的用于增加附着力的下保护层（2）、金属功能层（3）和防止氧化的上保护层（4），其中，所述下保护层（2）为氧化钛、氧化锌、镍铬合金、二氧化硅、五氧化二铌、氧化铝、掺氧化镁氧化锌（MZO）或掺氧化铝氧化锌（AZO）层，所述下保护层（2）厚度为3-20nm；所述金属功能层（3）为铜、银、钛、金、铝、铼、钯、钌、铑、铂、铱或锇层，或者以上金属的合金层，厚度为5-30nm，所述上保护层（4）为二氧化硅、氧化锌、镍、铬、镍铬合金、掺氧化铝氧化锌或掺氧化硅铝层，所述上保护层（4）厚度为1-15nm，所述上保护层（4）上通过磁控溅射工艺层镀设有用于挡水隔空气的封盖层（5），所述封盖层（5）厚度为3-15nm，所述封盖层（5）为氧化钛、五氧化二铌或二氧化硅层。
2.根据权利要求1所述的一种透明电磁屏蔽膜，其特征在于：所述金属功能层（3）为银层，或者银与铂族元素的合金层。
3.根据权利要求1所述的一种透明电磁屏蔽膜，其特征在于：掺氧化铝氧化锌层中氧化锌含量为50%-99%，掺氧化镁氧化锌层中氧化锌含量为80%-99%。
4. 根据权利要求1所述的一种透明电磁屏蔽膜，其特征在于：掺氧化铝氧化锌层中氧化锌含量为 50%-99%，所述掺氧化硅铝中使用的硅铝靶材中硅含量为80%-98%。
5.根据权利要求1所述的一种透明电磁屏蔽膜，其特征在于：所述基材层（1）厚度为4-23μm。
6.根据权利要求5所述的一种透明电磁屏蔽膜，其特征在于：所述基材层（1）为PI、PEN、PP、PET、PC或COP层。
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