[发明专利]多程级联放大激光驱动器的调试装置和方法

权利要求书

1.一种多程级联放大激光驱动器的调试装置，该多程级联放大激光驱动器(7)包括传输空间滤波器(71)，助推放大器(72)，助推反射镜(73)，透反偏振片(74)，腔反射镜(75)，电光开关(76)，腔空间滤波器(77)，腔放大器(78)和变形镜(79)，其特征在于：该调试装置包括光纤光源组件(1)，楔形反射镜(2)，波前采集组件(3)，波片组件(4)，真空机组(5)和计算机(6)；

所述的传输空间滤波器(71)包括传输空间真空管道、及固定在该传输空间真空管道前后两端的传输空间输入透镜(712)、传输空间输出透镜(711)和传输空间滤波孔盘(713)，所述的传输空间输出透镜(711)固定在真空管道上，所述的传输空间输入透镜(712)具备驱动电机，在真空和大气状态下可沿传输空间真空管道轴向平移；

所述的腔空间滤波器(77)包括腔空间真空管道、及固定在该腔空间真空管道前后两端的腔空间输入透镜(771)、腔空间输出透镜(772)和腔空间滤波孔盘(773)，所述的腔空间输入透镜(771)和腔空间输出透镜(772)均具备驱动电机，在真空和大气状态下可沿腔空间真空管道轴向平移；

所述的光纤光源组件(1)包括两路功率可调的单模光纤光源(113)、以及位于传输空间真空管道内的第一光纤准直器(111)、第一直角全反射棱镜(112)、第二光纤准直器(121)和第二直角全反射棱镜(122)；所述的单模光纤光源(113)的第一输出端通过第一路光纤(110)进入传输空间滤波器(71)的传输空间真空管道后与第一光纤准直器(111)相连，该第一光纤准直器(111)输出光束发散角与传输空间输入透镜(712)相匹配，光束经过第一直角全反射棱镜(112)分束镜像成为传输空间滤波孔盘(713)的第一小孔(7131)的出射光束；所述的单模光纤光源(113)的第二输出端通过第二路光纤(120)进入传输空间滤波器(71)的传输空间真空管道与第二光纤准直器(121)相连，该第二光纤准直器(121)输出光束发散角与传输空间滤波器(71)的传输空间输出透镜(711)相匹配，光束经过第二直角全反射棱镜(122)分束镜像成为传输空间滤波孔盘(713)的第二小孔(7132)出射光束，该出射光束经第二光纤准直器(121)和传输空间输出透镜(711)准直后入射到所述的楔形反射镜(2)，所述的楔形反射镜(2)前表面镀反射膜，后表面镀增透膜；

所述的波前采集组件(3)包括波前传感器(31)和位于传输空间真空管道内的小口径透镜(32)和反射镜(33)；第二光纤准直器(121)和传输空间输出透镜(711)输出的准直光束经所述的楔形反射镜(2)前表面反射后偏转微小角度返回传输空间输出透镜(711)，经所述的反射镜(33)反射后进入小口径透镜(32)完成光束缩束后，入射至波前传感器(31)；

所述的波片组件(4)包括位于所述的腔空间真空管道内第一波片(41)、第一波片驱动电机、第二波片(42)和第二波片驱动电机；第一波片(41)和第二波片(42)均为1/2波片，所述的第一波片(41)通过第一波片驱动电机移至腔空间滤波孔盘(773)的第二小孔(7732)处，所述的第二波片(42)通过第二波片驱动电机移至腔空间滤波孔盘(773)的第三小孔(7733)处；

微调透反偏振片(74)姿态将传输空间滤波器(71)的传输空间输入透镜(711)输出的近衍射极限傍轴平面波微小偏转后傍轴经过第一小孔(7731)后入射腔放大器(78)和变形镜(79)；光束经变形镜(79)反射折返后经过第四小孔(7734)后通过透反偏振片(74)反射后重新返回至助推空间滤波器(71)第五小孔(7735)中心位于与腔空间输入透镜(771)和腔空间输出透镜(772)共同焦点处；

所述的真空机组(5)包括由低真空机组和高真空机组构成的低温泵真空组合机组(51)，以及传输真空闸板阀(52)和腔真空闸板阀(53)；所述的传输真空闸板阀(52)和腔真空闸板阀(53)分别与传输空间滤波器(71)和腔空间滤波器(77)相连通，通过控制传输真空闸板阀(52)和腔真空闸板阀(53)的开启与关闭，维持传输空间滤波器(71)和腔空间滤波器(77)处于真空或大气状态；

所述的计算机(6)分别与所述的波前传感器(31)和变形镜(79)相连；所述的波前传感器(31)采用连续或脉冲单帧触发模式工作，测量入射至波前传感器(31)光束的像差数据；所述的计算机(6)依据波前传感器(31)的测量波前数据反馈控制所述的变形镜(79)完成像差校正。