[发明专利]加速度计及加速度计的温度自补偿方法

权利要求书

1.一种加速度计的温度自补偿方法，其特征在于，所述加速度计包括谐振器、静电力加载模块、敏感质量块、杠杆结构以及接口电路；

所述静电力加载模块包含静电力调控模块、静电力加载装置以及开关；

所述静电力调控模块通过所述开关与所述静电力加载装置相连；

所述静电力加载装置位于所述敏感质量块的中心；

所述敏感质量块与所述谐振器通过所述杠杆结构连接；

所述谐振器包含谐振梁、驱动电极以及检测电极，所述驱动电极、所述检测电极与所述接口电路相连；

所述杠杆结构包含输入梁以及输出梁，所述杠杆结构的输入梁与所述敏感质量块相连，所述杠杆结构的输出梁与所述谐振梁相连；

该方法包括：

建立以所述谐振器的输出频率为因变量，实际待测加速度、可调静电力产生的可调静电力加速度以及温度为自变量的关系；其中，所述实际待测加速度、所述可调静电力产生的可调静电力加速度为加速度项；所述加速度项包含加速度项系数；所述温度包含频率温度系数；

获取所述静电力调控模块产生的驱动电压，获取在所述驱动电压加载到第一定齿电极时所采集到的第一输出频率以及第二输出频率，获取在所述驱动电压加载到第二定齿电极时所采集到的第三输出频率以及第四输出频率；

根据所述驱动电压、极板间电容以及极板间距确定可调静电力，根据所述可调静电力以及敏感质量块的质量确定第一可调静电力带来的加速度项以及第二可调静电力带来的加速度项；所述可调静电力包括第一可调静电力以及第二可调静电力；所述第一可调静电力与所述第二可调静电力大小相同，方向相反；

根据所述第一输出频率、所述第三输出频率以及第一可调静电力带来的加速度项确定第一加速度项系数，根据所述第二输出频率、所述第四输出频率以及第二可调静电力带来的加速度项确定第二加速度项系数；

通过在温控箱中标定，采用最小二乘法拟合得到所述频率温度系数；

获取所述谐振器的输出频率，根据所述第一加速度项系数、所述第二加速度项系数、所述频率温度系数以及所述谐振器的输出频率确定所述加速度计进行温度自补偿后的加速度。

2.根据权利要求1所述的加速度计的温度自补偿方法，其特征在于，所述静电力调控模块包括低噪声直流电压产生模块、电压调节模块以及调控信号产生模块；

所述低噪声直流电压产生模块用于产生驱动电压；

所述调控信号产生模块用于产生控制信号；

所述电压调节模块通过所述控制信号调节所述低噪声直流电压产生模块产生的所述驱动电压的大小。

3.根据权利要求2所述的加速度计的温度自补偿方法，其特征在于，所述静电力加载模块通过所述控制信号确定所述开关的连接方式。

4.根据权利要求1所述的加速度计的温度自补偿方法，其特征在于，所述静电力加载装置采用梳齿结构；

所述静电力加载装置包含所述梳齿结构的定齿电极以及动齿电极；

所述定齿电极通过锚点固定；

所述动齿电极与所述敏感质量块相连；

所述动齿电极用于带动所述敏感质量块运动并产生加速度。

5.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至4任一项所述方法的步骤。

6.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至4任一项所述方法的步骤。