[发明专利]一种薄膜杨氏模量的确定方法、装置及系统

权利要求书

1.一种薄膜杨氏模量的确定方法，其特征在于，所述方法包括：

获取声速值与声波脉冲参数之间的参考线性关系和待测薄膜的声波传播信号谱；

在所述声波传播信号谱中，确定出目标峰值位置；

根据所述参考线性关系和所述目标峰值位置下的目标声波脉冲参数，确定声波在所述待测薄膜中传播的实际声速值；

通过所述实际声速值和所述待测薄膜中材料的密度，确定所述待测薄膜的杨氏模量；

其中，所述声波脉冲参数包括信号强度和信号强度的呈现时间；

所述参考线性关系包括：V＝a(H₁/P₁)+b(H₂/P₂)+c，所述V为声波在薄膜中的声速值，所述H₁为声波传播信号谱中最强峰位置下的信号强度，所述P₁为所述H₁对应的声波的呈现时间，所述H₂为声波传播信号谱中次强峰位置下的信号强度，所述P₂为所述H₂对应的声波的呈现时间，所述a、b、c为常数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取声速值与声波脉冲参数之间的参考线性关系，包括：

获取参考薄膜组中的每一参考薄膜的参考厚度，其中，所述参考薄膜组至少包括三个所述参考薄膜；

获取每一所述参考薄膜的参考声波传播信号谱；

通过所述参考声波传播信号谱，确定声波在每一所述参考薄膜中的传输时间；

通过多个所述传输时间以及与每一所述传输时间对应的所述参考薄膜的参考厚度，确定声波在每一所述参考薄膜中的参考声速值；

通过多个所述参考声速值和多个所述参考声波传播信号谱，确定所述声速值与所述声波脉冲参数之间的所述参考线性关系。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述通过所述多个参考声速值和多个所述参考声波传播信号谱，确定所述声速值与所述声波脉冲参数之间的所述参考线性关系，包括：

确定每一所述参考声波传播信号谱中参考峰值位置下的参考声波脉冲参数；

将每一所述参考薄膜中的所述参考声速值与对应参考薄膜的所述参考声波传播信号谱中的所述参考声波脉冲参数，确定为一个参数对；

根据至少三个所述参数对，确定所述声速值与所述声波脉冲参数之间的所述参考线性关系。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标峰值位置包括：最强峰值位置和次强峰值位置；所述声波脉冲参数包括所述最强峰值位置下的第一声波脉冲参数和所述次强峰值位置下的第二声波脉冲参数；

所述通过所述参考线性关系和所述目标峰值位置下的目标声波脉冲参数，确定声波在所述待测薄膜中传播的实际声速值，包括：

在所述参考线性关系下，通过所述第一声波脉冲参数和所述第二声波脉冲参数，确定声波在所述待测薄膜中传播的所述实际声速值。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第一声波脉冲参数包括：第一信号强度和所述第一信号强度的呈现时间；所述第二声波脉冲参数包括：第二信号强度和所述第二信号强度的呈现时间；

所述在所述参考线性关系下，通过所述第一声波脉冲参数和所述第二声波脉冲参数，确定声波在所述待测薄膜中传播的所述实际声速值，包括：

确定所述第一信号强度与所述第一信号强度的呈现时间之间的第一比值；

确定所述第二信号强度与所述第二信号强度的呈现时间之间的第二比值；

将所述第一比值和所述第二比值作为所述参考线性关系的自变量进行线性计算，得到与所述自变量对应的因变量；

将所述因变量确定为声波在所述待测薄膜中传播的所述实际声速值。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过所述实际声速值和所述待测薄膜中材料的密度，确定所述待测薄膜的杨氏模量，包括：

将所述实际声速值的平方与所述密度之间的乘积，确定为所述待测薄膜的杨氏模量。