[发明专利]一种溅射靶材斜面花纹的加工方法

权利要求书

1.一种溅射靶材斜面花纹的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材溅射面和靶材侧面的直角连接边铣削成斜面；

(2)在步骤(1)所得斜面上进行花纹铣削。

2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)采用铣刀进行；

优选地，所述铣刀的规格包括4R0.5；

优选地，步骤(2)采用平底尖刀进行；

优选地，所述平底尖刀的规格为(3-4)mm×(30-60)°×(0.15-0.25)mm。

3.根据权利要求1或2所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述铣削过程中靶材的转速为4000-6000rpm。

4.根据权利要求1-3任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述铣削的加工量为0.08-0.12mm；

优选地，步骤(1)所述铣削的给进速度为1800-2200mm/min。

5.根据权利要求4所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述铣削的加工量与给进速度满足负相关。

6.根据权利要求1-5任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所得斜面与靶材溅射面之间的夹角为30-60°；

优选地，步骤(1)所得斜面的整体平面度误差≤0.02°。

7.根据权利要求1-6任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述花纹铣削过程中靶材的转速为3500-4500rpm。

8.根据权利要求1-7任一项所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述花纹铣削共进行3-5次；

优选地，每次花纹铣削的加工量为0.01-0.03mm；

优选地，每次花纹铣削的给进速度为400-600mm/min。

9.根据权利要求8所述的加工方法，其特征在于，每次花纹铣削的加工量与给进速度满足负相关。

10.根据权利要求1-9任一项所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：

(1)采用规格为4R0.5的铣刀将靶材溅射面和靶材侧面的直角连接边铣削成斜面；所述铣削过程中靶材的转速为4000-6000rpm，铣削的加工量为0.08-0.12mm，给进速度为1800-2200mm/min，且加工量与给进速度满足负相关；所得斜面与靶材溅射面之间的夹角为30-60°，斜面整体平面度误差≤0.02°；

(2)采用规格为(3-4)mm×(30-60)°×(0.15-0.25)mm的平底尖刀在步骤(1)所得斜面上进行3-5次花纹铣削；所述花纹铣削过程中靶材的转速为3500-4500rpm，每次花纹铣削的加工量为0.01-0.03mm，给进速度为400-600mm/min，且加工量与给进速度满足负相关，每次花纹铣削过程中均伴随着乙醇冷却。