[发明专利]一种坩埚吊运工装有效

专利信息
申请号: 202110453270.8 申请日: 2021-04-26
公开(公告)号: CN113071982B 公开(公告)日: 2022-10-18
发明(设计)人: 宋克冉;颜玉峰;武绚丽 申请(专利权)人: 曲靖晶龙电子材料有限公司
主分类号: B66C1/54 分类号: B66C1/54;B66C1/12
代理公司: 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 代理人: 徐颖聪
地址: 655000 云南省曲靖市曲靖*** 国省代码: 云南;53
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摘要:
搜索关键词: 一种 坩埚 工装
【说明书】:

发明提供一种坩埚吊运工装,该坩埚吊运工装包括:底座;连杆,连杆的底端与底座连接,连杆的顶端设置有第一吊装部;多个可伸展/收缩的机械臂,机械臂的一端可转动地连接在底座的侧面且另一端用于撑抵坩埚内壁;与机械臂对应设置的多个连接撑杆,连接撑杆的第一端连接连杆且沿着连杆可在第一位置以及第二位置之间移动,第一位置位于第二位置上方,连接撑杆的第二端可枢转地连接机械臂,其中,连接撑杆的第一端位于第一位置时机械臂处于收缩状态,连接撑杆的第一端位于第二位置时机械臂处于伸展状态。根据本发明实施例的坩埚吊运工装,借助机械力实现了坩埚的吊运,操作便利,结构简单,且适用于不同尺寸的坩埚。

技术领域

本发明涉及单晶炉坩埚拆取技术领域,具体涉及一种坩埚吊运工装。

背景技术

随着拉晶工艺的发展,以及大炉型单晶炉的推广,单晶炉的“心脏”热场系统的器件也越来越大,甚至某些部件在拆装时已经不再适合与人工手动操作。

单晶炉中的坩埚就是这样一个部件,小炉型的坩埚较小,在拆炉时即使单靠人力的配合也可以将坩埚取出。但是随着炉型的增大,坩埚的大小和重量也在增加,靠人力已经很难将其取出。

目前并没有针对不同热场大小兼用的安全可靠的埚杆取具,主要靠夹取、捆绑等方式来取坩埚,随着热场的增大,夹取坩埚的做法和设备都有局限性,且不同大小的坩埚需要配置不同大小的装置,对于安全性方面也有着不小的隐患。

发明内容

有鉴于此,本发明提供一种能够依靠机械助力代替人工来从单晶炉中吊取坩埚的坩埚吊运工装,其在热场适应性方面优良,几乎适用于目前主流的单晶炉,具有很强的兼容性,且在使用时较为方便。

为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:

根据本发明实施例的坩埚吊运工装,包括:底座;连杆,所述连杆的底端与所述底座连接,所述连杆的顶端设置有第一吊装部;多个可伸展/收缩的机械臂,所述机械臂的一端可转动地连接在所述底座的侧面且另一端用于撑抵坩埚内壁;与所述机械臂对应设置的多个连接撑杆,所述连接撑杆的第一端连接所述连杆且沿着所述连杆可在第一位置以及第二位置之间移动,所述第一位置位于所述第二位置上方,所述连接撑杆的第二端可枢转地连接所述机械臂,其中,所述连接撑杆的第一端位于所述第一位置时所述机械臂处于收缩状态,所述连接撑杆的第一端位于所述第二位置时所述机械臂处于伸展状态。

根据本发明实施例的坩埚吊运工装,还包括:

轴套,所述轴套可上下滑动地套设在所述连杆上且位于所述底座上方,所述连接撑杆的第一端可枢转地连接在所述轴套的外侧。

进一步地,根据本发明实施例的坩埚吊运工装,还包括:

轴套挡板,所述轴套挡板套设在所述连杆上且固定在所述轴套的上方。

更进一步地,所述轴套挡板上设有一个或多个通孔,所述轴套顶端设有相应的一根或多根螺杆,所述螺杆与所述通孔相适配且所述螺杆穿过所述通孔可上下移动,所述螺杆上设有调节螺母。

更进一步地,所述轴套顶端设置有用于抵接所述轴套挡板限定所述轴套位移的一个或多个限位块。

更进一步地,所述螺杆与所述限位块各设有三个,所述螺杆与所述限位块沿所述轴套的周向间隔开均匀分布。

进一步地,所述机械臂包括:

连接部,所述连接部的一端可枢转地连接在所述底座外侧;

支撑板,所述支撑板的背部可枢转地连接在所述连接部的另一端。

更进一步地,所述支撑板形成为弧形板,所述支撑板的远离所述连接部的一侧表面设有防滑层。

进一步地,所述机械臂为三个,三个所述机械臂在所述底座的周向上均匀地间隔开分布。

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