[发明专利]开路短路测试装置及方法

说明书

本申请公开了一种开路短路测试装置及方法，开路短路测试装置包括：工作台，用于放置待测试基板，待测试基板包括多条金属线；初步定位单元用于对多条金属线中的金属线进行开路短路测试，在金属线发生开路或短路时，生成金属线的开路信息和短路信息；精确定位单元用于接收开路信息和短路信息，并根据开路信息和短路信息生成金属线的开路位置信息和短路位置信息；切割单元，与工作台滑动连接，用于接收短路位置信息，并根据短路位置信息对金属线的短路位置处进行切割，以对发生短路的金属线进行修补。本申请通过切割单元，对发生短路的金属线进行修补，避免通过专门的修补设备对发生短路的金属线进行修补，缩短基板的生产周期，提高产能。

技术领域

本申请涉及薄膜晶体管阵列基板的电学测试领域，具体涉及一种开路短路测试装置及方法。

背景技术

目前TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管-液晶显示面板)制造过程大概可以分为三个阶段：阵列工艺、制盒工艺以及模组工艺。在阵列工艺中，要在基板上镀5层膜，其中一层为金属线层，经过蚀刻等工艺在基板上形成横向或纵向排列金属线，它的好坏直接影响最终产品质量，所以金属线的检测至关重要。

目前测试金属线好坏的主要装置为OS(Open-Short，开路-短路)测试装置，它可以检测到金属线是否有开路和短路情况。当检测到金属线存在开路和短路的情况时，定位开路和短路的金属线，并将基板转给后站点修补设备，对开路和短路的金属线进行修补。即：现有的开路短路测试装置仅用于对金属线的开路短路进行检测和定位，无法对短路金属线进行修补，需要借助其他设备对短路金属线进行修补，导致基板的生产周期过长，降低产能。

因此，急需寻求一种开路短路测试装置及方法解决现有技术中的开路短路测试装置无法对短路金属线进行修补，导致基板的生产周期过长和产能较低等技术问题。

发明内容

本申请提供一种开路短路测试装置及方法，旨在解决现有技术存在的开路短路测试装置无法对短路金属线进行修补，导致基板的生产周期过长和产能较低等技术问题。

第一方面，本申请提供一种开路短路测试装置，包括：

工作台，用于放置待测试基板，所述待测试基板包括多条金属线；

初步定位单元，与所述工作台滑动连接，用于对所述多条金属线中的金属线进行开路短路测试，在所述金属线发生开路或短路时，生成所述金属线的开路信息和短路信息；

精确定位单元，与所述工作台滑动连接，用于接收所述金属线的开路信息和短路信息，并根据所述开路信息和短路信息生成所述金属线的开路位置信息和短路位置信息；

切割单元，与所述工作台滑动连接，用于接收所述短路位置信息，并根据所述短路位置信息对所述金属线的短路位置处进行切割，以对发生短路的所述金属线进行修补。

在本申请一些实现方式中，所述切割单元包括切割机构和工控设备，所述工控设备用于接收短路位置信息，并根据所述短路位置信息生成切割指令，指示所述切割机构对所述金属线的短路位置处进行切割。

在本申请一些实现方式中，所述切割机构包括固定件和激光切割头，所述固定件一端滑动连接于所述工作台，所述固定件另一端固定连接于所述激光切割头，所述激光切割头用于产生激光束，以对短路位置处进行切割。

在本申请一些实现方式中，所述工作台包括放置部和安装部，所述放置部用于放置所述待测试基板，所述安装部包括至少一个导轨以及与所述至少一个导轨滑动连接的至少一个横梁，所述至少一个导轨固定连接于所述放置部，所述初步定位单元、所述精确定位单元和所述切割单元均滑动连接于所述至少一个横梁。