[发明专利]一种垂直腔面发射激光器光源

权利要求书

1.一种垂直腔面发射激光器光源，其特征在于，包括：

衬底；

发光器件，设置在所述衬底上，用于发射出激光光束，所述激光光束方向垂直于所述衬底；

图形结构制备层，设置在所述发光器件上，用于偏转所述激光光束的角度。

2.根据权利要求1所述的光源，其特征在于，所述图形结构制备层包括以下任一：微光机电系统结构、二维超表面结构或光束控制复合结构。

3.根据权利要求2所述的光源，其特征在于，所述微光机电系统结构包括：

支撑结构，设置在所述衬底上，所述支撑结构架设在所述发光器件的上方；

振镜，架设在所述支撑结构顶部；

振镜控制单元，与所述振镜连接，用以控制所述振镜摆动；

其中，所述振镜设置在所述发光器件上方，所述激光光束穿过所述振镜后角度发生偏转。

4.根据权利要求3所述的光源，其特征在于，所述支撑结构的材料包括以下之一：半导体材料、介质材料、粘合胶、粘性材料或焊接金属材料。

5.根据权利要求3所述的光源，其特征在于，

所述振镜控制单元通过压电式驱动所述振镜周期性振动；或者

所述振镜控制单元通过电磁驱动所述振镜周期性振动。

6.根据权利要求2所述的光源，其特征在于，所述二维超表面结构包括：

透镜，设置在所述发光器件的发光面之上，所述透镜上设置有超表面，所述超表面用于偏转所述激光光束的角度。

7.根据权利要求6所述的光源，其特征在于，所述透镜的材质包括以下之一：半导体材料、介质层或金属材料。

8.根据权利要求6所述的光源，其特征在于，所述发光器件的数量为多个，多个所述发光器件组成一面阵。

9.根据权利要求8所述的光源，其特征在于，多个所述发光器件上的透镜上的超表面参数不相同，所述超表面参数包括：图形形状、图形周期、大小和占空比。

10.根据权利要求2所述的光源，其特征在于，所述光束控制复合结构包括：

支撑结构，设置在所述衬底上，所述支撑结构架设在所述发光器件的上方；

振镜，架设在所述支撑结构顶部；

超表面，设置在所述振镜的表面，所述超表面用于偏转所述激光光束的角度、调控所述激光光束的偏振或模式；

振镜控制单元，与所述振镜连接，用以控制所述振镜摆动；

其中，所述振镜设置在所述发光器件上方，所述激光光束穿过所述振镜后角度发生偏转。