[发明专利]一种确定脉冲激光焦点位置的方法及装置

权利要求书

1.一种快速确定脉冲激光焦点位置的方法，其特征在于，包括：

检测脉冲激光烧蚀不锈钢测试块产生烧蚀散射光的开始位置和消失位置；

取开始位置和消失位置之间的中心点为脉冲激光焦点位置；

其中，所述检测脉冲激光烧蚀不锈钢测试块产生烧蚀散射光的开始位置和消失位置包括：

将聚焦后的脉冲激光照射至测试块；

在一定速率下沿设定方向移动测试块，所述设定方向与测试块的被照射面具有倾斜角度；

获取脉冲激光在测试块上产生烧蚀散射光的开始位置和消失位置；

其中，所述测试块为三角形结构；

其中，所述三角形结构的一侧面具有凸台，聚焦后的脉冲激光照射开始时照射在凸台上，随着测试块移动设定距离，脉冲激光照射至测试块三角结构的斜面上。

2.如权利要求1所述的快速确定脉冲激光焦点位置的方法，其特征在于，测试块向设定方向移动，直到测试块的斜面上出现激光烧蚀散射光，此时达到开始位置。

3.如权利要求2所述的快速确定脉冲激光焦点位置的方法，其特征在于，随着测试块继续向设定方向移动，激光光束会沿着斜面下坡方向持续烧蚀材料，直烧蚀散射光消失，达到消失位置。

4.如权利要求3所述的快速确定脉冲激光焦点位置的方法，其特征在于，根据达到开始位置的时刻、达到消失位置的时刻、设定速率和测试块斜面的倾斜角度计算光焦点位置。

5.如权利要求1所述的快速确定脉冲激光焦点位置的方法，其特征在于，所述测试块具有倾斜面，脉冲激光照射至测试块的倾斜面，并沿水平方向一定速率下移动测试块，使得脉冲激光照射至测试块的倾斜面上产生无光—烧蚀散射光—无光的光强变化过程。

6.如权利要求1所述的快速确定脉冲激光焦点位置的方法，其特征在于，所述测试块为不锈钢测试块，不锈钢测试块安装在三维运动平台上，通过三维运动平台带动不锈钢测试块在一定速率下沿设定方向移动。

7.一种快速确定脉冲激光焦点位置的装置，采用如权利要求1-6任一所述的确定脉冲激光焦点位置的方法，包括脉冲激光发射器，不锈钢测试块，三维移动平台，光传感器和单片机；

所述脉冲激光发射器用于将脉冲激光出射光照射至不锈钢测试块表面；

所述三维移动平台用于承载不锈钢测试块，并带动不锈钢测试块在一定速率下沿设定方向进行移动；

所述光传感器用于检测脉冲激光烧蚀不锈钢测试块产生烧蚀散射光的开始位置和消失位置；

所述单片机用于计算开始位置和消失位置之间的中心点，将中心点做为脉冲激光焦点位置。