[发明专利]一种镍铁铜钼合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将原料Mo和原料Ni加入熔炼炉中，在真空环境下进行悬浮熔炼，冷却后得到合金锭A；

（2）将原料Fe和原料Cu添加入步骤（1）含有合金锭A熔炼炉中，在真空环境下继续熔炼处理，冷却后得到合金锭B；

（3）将合金锭B在真空环境下精炼三次，进行第三次精炼后将合金锭B的熔体进行浇铸得到铸锭；

（4）将步骤（3）得到的铸锭进行轧制处理，得到所述镍铁铜钼合金靶材；

所述原料Mo、原料Ni、原料Fe和原料Cu的重量比为Mo：Ni：Fe：Cu=5.9~6.9：74.8~75.8：12.5~13.5：4.8~5.8；

所述步骤（3）中，将合金熔体置于水冷碳钢模具中浇铸，同时使用10℃的冷却水，使合金熔体自下而上冷却，得到铸锭。

2.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述真空环境具体为：将熔炼炉抽真空后，充入保护气洗炉，再次抽真空后充入保护气；所述抽真空的气压为2.0Í10^-2 Pa；所述充入保护气的气压为0.06-0.12MPa。

3.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中，悬浮熔炼的温度为1500-1550℃，时间为7-14min。

4.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中，熔炼的温度为1450-1550℃，时间为4-8min。

5.如权利要求4所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述步骤（3）中，合金锭B精炼的温度为1450-1500℃，时间为3-5min。

6.如权利要求1所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，将步骤（3）得到的铸锭加热后，进行第一阶段轧制，然后进行第二阶段轧制。

7.如权利要求6所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述第一阶段对加热后的铸锭进行多道次轧制，第一阶段轧制结束后铸锭的变形量为总变形量的20%，其中，每道次轧制变形量为总变形量的5-10%，每轧制2道次后将轧制后的铸锭重新加热处理；所述第二阶段对第一阶段轧制后的铸锭进行多道次轧制，第二阶段轧制结束后铸锭的变形量为总变形量的80%，其中，每道次轧制变形量为总变形量的10-20%，每轧制2道次后将轧制后的铸锭重新加热处理。

8.如权利要求7所述镍铁铜钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述铸锭加热温度为950-1000℃，时间为0.5-1h；所述重新加热的温度为950-1000℃，时间为5-10min。