[发明专利]具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法

权利要求书

1.一种具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S1：采用3D打印技术制备二氧化硅坯体；

步骤S2：将二氧化硅坯体置于烧结模具中进行快速烧结；烧结温度为1150～1450℃，烧结升温速率为50～1000℃/min，烧结的保温时间小于20min。

2.根据权利要求1所述的复杂结构石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，所述二氧化硅坯体是二氧化硅混合浆料经3D打印成型、脱脂和预烧结过程处理后，具有一定形状的坯体。

3.根据权利要求2所述的具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，所述二氧化硅的粒径小于500nm。

4.根据权利要求1所述的具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，所述3D打印技术为光固化3D打印。

5.根据权利要求1所述的具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，烧结环境为真空或惰性气氛环境；所述惰性气氛为氩气、氦气或氮气。

6.根据权利要求1所述的具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，所述烧结模具包括上石墨电极、中空圆柱形石墨模具、下石墨电极、隔热块、承烧板；上石墨电极和下石墨电极分别位于中空圆柱形石墨模具的两端并与其形成封闭的烧结室；所述隔热块位于下石墨电极上方；所述承烧板位于隔热块上方。

7.根据权利要求6所述的具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，所述烧结模具还包括测温元件，所述测温元件位于中空圆柱形石墨模具的外表面。

8.根据权利要求6所述的具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，步骤S2中利用电场加热的方式通过上石墨电极和下石墨电极对烧结模具进行加热。

9.根据权利要求1所述的具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法，其特征在于，还包括S3冷却步骤；冷却步骤可以为自然冷却或控温冷却。

10.权利要求1～9任意一项所述的具有复杂结构的石英玻璃器件的制备方法所制备的石英玻璃器件。