[发明专利]传输线结构及其制作方法、移相器和液晶天线在审
申请号: | 202110441456.1 | 申请日: | 2021-04-23 |
公开(公告)号: | CN113126370A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 杨作财;段勤肄;何宁;王东花;扈映茹;席克瑞;贾振宇;陈飞 | 申请(专利权)人: | 成都天马微电子有限公司 |
主分类号: | G02F1/1337 | 分类号: | G02F1/1337;G02F1/13;H01Q3/30;H01P1/18 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 611730 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 传输线 结构 及其 制作方法 移相器 液晶 天线 | ||
本发明公开了一种传输线结构及其制作方法、移相器和液晶天线,涉及信号传输技术领域,传输线结构包括:第一基底、第一导电部和第一辅助部;沿平行于第一基底的方向,第一辅助部设置于第一导电部的侧面,第一辅助部的第一侧面与第一导电部接触,第二侧面位于第一侧面远离第一导电部的一侧;第二侧面包括第一端部和第二端部,第二端部位于第一端部远离第一导电部的一侧;沿垂直于第一基底的方向,第一端部与第一基底之间的距离大于第二端部与第一基底之间的距离;第二侧面的延伸方向与第一基底所在平面的延伸方向的夹角中的锐角为α,第一导电部的底面与侧面之间的夹角为β,其中,α<β。如此有利于提升传输线结构的面内配向均匀性。
技术领域
本发明涉及信号传输技术领域,更具体地,涉及一种传输线结构及其制作方法、移相器和液晶天线。
背景技术
随着通信技术的不断发展,人们对大容量、高传输速度的通讯需求越来越大。传输线结构是通讯媒介中重要的组成部分,例如液晶天线等装置中均包含传输线结构,其中,液晶天线是一种利用液晶的介电各向异性,通过控制液晶偏转方向来改变液晶的介电常数,以此改变移相器的移相大小,从而调节相控阵天线的对准方向的天线。与传统的喇叭天线、螺旋天线和阵子天线等相比,液晶天线具有小型化、宽频带、多波段以及高增益等特点,是一种更适合当前技术发展方向的天线。
在现有的传输线结构中,金属线电阻的厚度较大,使传输线结构中出现加大的段差,在摩擦配向过程中,极有可能导致摩擦布被高段差边缘损伤,影响配向均匀性,进而影响到传输线的正常工作。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种传输线结构及其制作方法、移相器和液晶天线,以提升传输线结构的面内配向均匀性,进而使得移相器和液晶天线的相位调节控制更加精准。
第一方面,本申请提供一种传输线结构,包括:
导电基板,所述导电基板包括第一基底以及设置于所述第一基底上的第一导电部和第一辅助部;沿垂直于所述第一基底的方向,所述第一辅助部远离所述第一基底的表面不超出所述第一导电部远离所述第一基底的表面;
沿平行于所述第一基底所在平面的方向,所述第一辅助部设置于所述第一导电部的侧面,所述第一辅助部包括第一侧面和第二侧面,所述第一侧面与所述第一导电部接触,所述第二侧面位于所述第一侧面远离所述第一导电部的一侧;所述第二侧面包括第一端部和第二端部,所述第二端部位于所述第一端部远离所述第一导电部的一侧;沿垂直于所述第一基底所在平面的方向,所述第一端部与所述第一基底之间的距离大于所述第二端部与所述第一基底之间的距离;
所述第二侧面的延伸方向与所述第一基底所在平面的延伸方向的夹角中的锐角为α,所述第一导电部的底面与侧面之间的夹角为β,其中,α<β。
第二方面,本发明提供一种传输线结构的制作方法,应用于本申请中的传输线结构,该制作方法包括:
提供第一基底;
在所述第一基底上制作导电部,并在所述导电部远离所述第一基底的一侧涂布感光胶;
采用曝光显影以及刻蚀的方式形成第一导电部,并在所述第一导电部远离所述第一基底的表面保留所述感光胶;
采用有机材料电镀工艺在所述第一导电部的侧壁形成第一辅助部;
去除所述第一导电部远离所述第一基底一侧的感光胶;
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