[发明专利]一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法

权利要求书

1.一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，具体步骤如下：

S1、将晶片(402)插入插入晶舟(401)中；

S2、通过装料装置将晶片(402)和晶舟(401)放到桨(7)的承托位置；

S3、打开炉门(6)，启动送料机构(8)，利用桨(7)将晶片(402)和晶舟(401)送入工艺管(3)工作区域；

S4、升降装置(9)驱动送料机构(8)向下移动，桨(7)下移让晶舟(401)腿与工艺管(3)底部圆弧接触，晶舟(401)由工艺管(3)进行承托，桨(7)继续下移一个小距离，晶舟(401)与桨(7)的承托面脱离开，桨(7)保持低位状态；

S5、送料机构(8)驱动桨(7)进行低位水平移动，退出工艺管(3)，回至装料的位置停下；

S6、关闭工艺管(3)炉门(6)，实现密封；

S7、对炉体进行加热，同时控制工艺管(3)内部的工艺气体进入炉体内部对晶片(402)进行加工；

S8、对炉体进行降温，停止输入工艺气体；

S9、打开炉门(6)，送料机构(8)驱动桨(7)在低位水平移动，进入工艺管(3)，进入晶舟(401)底部后驱动上移，提升桨(7)上移，与晶舟(401)承托面接触后还要继续小距离提升，此时晶舟(401)脚与工艺管(3)离开小距离，提升至高位停止；

S10、送料机构(8)驱动桨(7)承托的晶舟(401)和晶片(402)移出工艺管(3)，到达S2中装料的位置后，停止移动；

S11、关闭炉门(6)，且保持炉内基础温度；

S12、取下工艺后的晶舟(401)，更换新晶舟(401)和晶片(402)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，所述S2中桨(7)固定于桨(7)夹持组件中定位进行安装，晶舟(401)和晶片(402)安放在桨(7)的右端，所述桨(7)夹持组件固定在垂直移动滑板上。

3.根据权利要求1所述的一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，所述S3中送料机构(8)右侧对应炉管水平设置有架体(1)，所述送料机构(8)由安装在架体(1)上的水平移动安装板(801)、水平移动滑板(803)、水平移动导轨、水平移动丝杠(802)进行移动安装，所述送料机构(8)通过水平移动减速器电机驱动，进行水平往复移动。

4.根据权利要求1所述的一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，所述S4中升降装置(9)通过垂直移动导轨(901)、垂直移动丝杠(902)进行移动安装，所述升降装置(9)通过垂直移动减速器电机(903)驱动，进行垂直上下移动。

5.根据权利要求1所述的一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，所述S6中关闭工艺管(3)炉门(6)实现密封是通过摆动炉门(6)进行炉门(6)的移开和关门密封，工艺管(3)口与架体(1)上固定的炉口法兰(5)通过密封法兰(501)和密封圈压紧，实现工艺管(3)的密封连接。

6.根据权利要求1所述的一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，所述S7中对炉体进行加热是通过加热器(2)进行加热。

7.根据权利要求1所述的一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，所述S7中工艺管(3)设置有进气管(301)和出气管(302)用于工艺气体的进气和排气。

8.根据权利要求1所述的一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，所述S11中保持炉内基础温度是通过在加热器(2)尾部设置尾部隔热块(201)用于封闭加热器(2)，防止热量散出。

9.根据权利要求1所述的一种应用于半导体、光伏管式设备闭管软着陆的方法，其特征在于，所述炉门(6)是旋开炉门(6)设计，保证了炉口密封性。