[发明专利]一种用于晶圆片的去胶边机构

说明书

本发明涉及一种刮胶机构，具体是一种用于晶圆片的去胶边机构，旨在解决现有对方形晶圆片的去胶边技术存在的效率低、返修率高、一致性差的技术问题。采用如下技术方案：包括四轴机器人，四轴机器人固连有连接块，连接块上通过第一铰接轴铰接有连接板且配置有角度锁紧结构，连接板固连有安装板，安装板的下端通过第二铰接轴铰接有刀架且铰接点位于刀架中部，刀架前端固定有刀片，刀架后端固定有下卡销，下卡销的上方设有固上卡销，上卡销与下卡销之间通过拉伸弹簧连接，安装板上还固定有微分头，微分头的伸出端朝上且接触有顶块，顶块固连或一体成型有滑块，滑块可上下滑动安装在安装板上且配置有滑动锁紧结构，滑块的下端与刀架的前端钩接。

技术领域

本发明涉及一种刮胶机构，具体是一种用于晶圆片的去胶边机构。

背景技术

光刻胶涂胶机是一种采用高速旋涂的方式将光刻胶均匀涂覆在晶圆片表面的设备。涂胶机在高速旋涂时，由于液体表面张力的作用，滴在晶圆片表面的光刻胶在旋涂时会在晶圆片的边缘部分产生凸起部分（以下称为胶边）。胶边会对下一步光刻工序产生影响，所以需要将胶边去除。现有的去胶边机构大多为针对圆形晶圆片设计，无法对方形晶圆片进行去胶边。目前方形晶圆片的胶边去除多采用人工刮去的方式。其效率低，返修率高，一致性较差。

发明内容

本发明旨在解决现有对方形晶圆片的去胶边技术存在的效率低、返修率高、一致性差的技术问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种用于晶圆片的去胶边机构，包括四轴机器人，四轴机器人的输出轴端固连有连接块，连接块上通过第一铰接轴铰接有竖直布置的连接板且配置有角度锁紧结构，第一铰接轴水平布置，连接板固连有与其垂直的安装板，安装板的下端通过第二铰接轴铰接有刀架且铰接点位于刀架中部，第二铰接轴与安装板垂直，刀架前端固定有刀体，刀架后端固定有下卡销，下卡销的上方设有固定于安装板上的上卡销，上卡销与下卡销之间通过拉伸弹簧连接，安装板上还固定有微分头，微分头的伸出端朝上且接触有顶块，顶块固连或一体成型有滑块，滑块可上下滑动安装在安装板上且配置有滑动锁紧结构，滑块的下端与刀架的前端钩接（所谓钩接即滑块与刀架之间通过钩类结构相接触，但并没有完全固定死，通过滑块的上升能够驱动刀架绕第二铰接轴旋转）。

本发明的有益效果是：

1）本发明提供的用于晶圆片的去胶边机构，设有四轴机器人，通过控制四轴机器人的运行轨迹可实现对方形或圆形或其他形状的晶圆片的去胶边作业，适用范围广；

2）本发明提供的用于晶圆片的去胶边机构，采用机械代替现有的手工作业，，刮胶后的一致性好，并且可以较好的保护方形晶圆片的表面；

3）本发明提供的用于晶圆片的去胶边机构，设有第一铰接轴及相关铰接结构，可实现刀片刮胶时的角度调节，更能保证胶边去除的质量；

4）本发明提供的用于晶圆片的去胶边机构，设有第二铰接轴及相关铰接结构以及微分头相关结构，可实现刀片刮胶时刀刃的水平度调节，能够保证去胶边时刀刃与待加工面平行，进一步保证了胶边去除的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的整体结构示意图；

图2是本发明的去除四轴机器人后剩余结构示意图一；

图3是本发明的去除四轴机器人后剩余结构示意图二；

图4是本发明的去除四轴机器人后剩余结构示意图三；。

图中：