[发明专利]大面积发光件上单个像素外量子效率快速检测系统及其检测方法有效
申请号: | 202110435452.2 | 申请日: | 2021-04-22 |
公开(公告)号: | CN113155416B | 公开(公告)日: | 2022-02-25 |
发明(设计)人: | 廖清;德健博;殷海玮;尹璠;付红兵 | 申请(专利权)人: | 首都师范大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02;G01M11/04 |
代理公司: | 北京冠榆知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11666 | 代理人: | 王道川 |
地址: | 100048 北京市海*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 大面积 发光 单个 像素 量子 效率 快速 检测 系统 及其 方法 | ||
本发明公开大面积发光件上单个像素外量子效率快速检测系统检测及其方法,检测系统包括接收光路、定标光路和第三检测装置,接收光路用于接收待测发光件发出的入射光线,并测定其光强空间分布和待测发光件上每个像素对应的不同波长的光强;向接收光路发射不同频率入射光线以便获取接收光路对不同频率入射光线的响应函数;第三检测装置用于测定待测发光件发光时的总电流值;检测方法:接收光路的校准,待测发光件上单个像素的检测,待测发光件发光时的电流检测以及外量子效率的计算。本发明可以快速分析大面积发光件上单个像素点的外量子效率,有效提高大面积发光件上单个外量子效率检测的准确性,可应用于大面积发光器件的单个像素点的外量子效率测量。
技术领域
本发明涉及外量子效率快速检测技术领域。具体地说是大面积发光件上单个像素外量子效率快速检测系统及其检测方法。
背景技术
近年来,随着电子技术的不断发展,人们对于高性能平板显示的要求不断提高,开发具有更小单像素尺寸以及更低能耗的发光器件,一直是发光器件行业的追求。外量子效率是用于表征发光器件的重要参数之一,对于有机发光二极管等大面积主动发光器件来说,单个像素的外量子效率也同样重要,也是衡量发光器件品质的重要指标。因此,快速准确地获得整个发光面板上每一个单像素的外量子效率对于提升器件的整体性能,以及在新型发光器件的研发、量产时的质量监测等方面都有着重要意义。
然而,目前传统的外量子效率检测装置还无法准确检测大面积发光件上单个像素的外量子效率。常规外量子效率检测装置(一般是基于积分球体系)可以对大面积发光器件的整体进行较准确的外量子效率检测或者可以实现单个微小器件的外量子效率检测。但在面对密集阵列的微小发光件时,由于积分球无法进行空间分辨的检测,因此无法对密集阵列像素点进行快速的外量子效率逐个检测。
发明内容
为此,本发明所要解决的技术问题在于提供一种大面积发光件上单个像素外量子效率快速检测系统及其检测方法,以解决传统的外量子效率检测装置无法准确检测大面积发光件上单个像素外量子效率的问题。
为解决上述技术问题,本发明提供如下技术方案:
大面积发光件上单个像素外量子效率快速检测系统,包括接收光路、定标光路和第三检测装置,所述接收光路用于接收待测发光件发出的入射光线,并测定入射光线的光强空间分布IS(x,y)和所述待测发光件上每个像素对应的不同波长的光强S(x,y)(λ),其中λ为入射光线的波长,x定义为横轴方向,y为纵轴方向;所述定标光路用于向所述接收光路发射不同频率入射光线以便获取所述接收光路对不同频率入射光线的响应函数H(λ);所述第三检测装置用于测定所述待测发光件发光时的总电流值A。
上述大面积发光件上单个像素外量子效率快速检测系统,所述接收光路包括第一显微物镜、像素扫描组件、第一检测装置和第二检测装置;所述第一显微物镜具有第一端和第二端,所述第一显微物镜的第一端为常规观测微小物体时对准待观测体、载物台或盖玻片的一端,所述第一显微物镜的第二端为常规观测微小物体时背向待观测体、载物台或盖玻片的一端;
所述第一显微物镜的第一端焦平面与所述待测发光件对准;所述第一显微物镜的第二端焦平面与所述像素扫描组件的光线接收部对准;从所述像素扫描组件中反射出的光线进入所述第一检测装置,从所述像素扫描组件中透射出的光线进入所述第二检测装置;所述第一显微物镜用于采集所述待测发光件发出的入射光线,所述像素扫描组件用于对所述待测发光件进行整体扫描处理以及单个像素分别进行扫描处理,所述第一检测装置用于测定从所述像素扫描组件中反射出的光线的光强,所述第二检测装置用于测定从所述像素扫描组件中透射出的光强空间分布。
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