[发明专利]一种靶材绑定后的清缝方法

权利要求书

1.一种靶材绑定后的清缝方法，其特征在于：包括有以下步骤：

步骤一：将多个ITO靶材套在背管上绑定在一起，将相邻的ITO靶材之间的缝隙的高温胶首先去除掉；

步骤二：用合金工具钢材质的呈钩状的勾刀，对相邻的ITO靶材之间的缝隙进行来回的清理；

步骤三：取0.15mm厚度的薄细砂纸，单面塞到相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行来回的清理；

步骤四：取0.1-0.15mm厚度的砂纸折起来，形成双面的砂纸塞到相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行来回的清理，对缝隙里靶材表面打磨，双面砂纸折叠处对缝隙内部底端进行打磨清缝；

步骤五：采用吹气枪对相邻的ITO靶材之间的缝隙中进行吹气清理，清理之后对靶材进行静电湿式除尘；

步骤六：将清理完毕的靶材投入到超声波清洗机内进行超声波振动清洗12-20min。

2.如权利要求1所述一种靶材绑定后的清缝方法，其特征在于：超声波清洗采用EDTA-二钠清洗剂加入到清洗机内，超声波清洗振动频率在前1/2时间内的频率为20-40千赫，中间1/4时间内的频率为40-80千赫，最后1/4时间内的频率为100-200千赫。

3.如权利要求1所述一种靶材绑定后的清缝方法，其特征在于：所述步骤六超声波清洗完毕后，甩干水分，投入到烘箱内进行烘干。

4.如权利要求1或2所述一种靶材绑定后的清缝方法，其特征在于：所述步骤六超声波清洗的过程中对靶材进行不间歇的旋转，旋转速率为20-30转/分钟。

5.如权利要求1或2或3所述一种靶材绑定后的清缝方法，其特征在于：所述勾刀包括刀柄（1），刀柄（1）呈直线形，刀柄（1）顶部向左侧呈弧形偏移，弧线偏移左侧的R角为83.5，弧线偏移右侧的R角为96；刀柄（1）顶端有钩头（2），钩头（2）向左弯曲呈钩状，钩头（2）右端呈尖状，尖状右侧下方的向左弯曲的弧形曲线R角为4.5，钩头（2）左部的向左弯曲的弧线曲线的R角为8.5，钩头（2）呈尖状左侧上方向上弯曲的弧形曲线的R角为9，钩头（2）尖状的弧形曲线的R角为0.5。

6.如权利要求1所述一种靶材绑定后的清缝方法，其特征在于：烘干后对相邻的ITO靶材之间的缝隙用放大镜进行检查，如还有残留，则再次进行清缝。