[发明专利]一种并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜

权利要求书

1.一种并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，包括具有负光焦度的第一镜组和具有正光焦度的第二镜组。所述第一镜组包括第一镜片、第二镜片、第三镜片、第四镜片、第五镜片和第六镜片等。所述第二镜组包括第七镜片、第八镜片、第九镜片、第十镜片、第十一镜片、第十二镜片、第十三镜片、第十四镜片、第十五镜片、第十六镜片、第十七镜片、第十八镜片、第十九镜片和第二十镜片。

其中，第一镜片、第二镜片、第四镜片、第六镜片、第七镜片、第八镜片、第九镜片、第十镜片、第十一镜片、第十二镜片、第十三镜片、第十四镜片、第十五镜片、第十六镜片、第十七镜片均采用冕牌玻璃；第三镜片、第五镜片、第十八镜片、第十九镜片、第二十镜片均采用火石玻璃。

第一镜片、第五镜片、第六镜片、第八镜片、第九镜片、第十一镜片、第十二镜片、第十三镜片、第十四镜片、第十六镜片、第十七镜片、第十九镜片均为正光焦度透镜；第二镜片、第三镜片、第四镜片、第七镜片、第十镜片、第十五镜片、第十八镜片、第二十镜片均为负光焦度透镜。

2.根据权利要求1所述一并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，第一镜片、第六镜片、第八镜片、第九镜片、第十一镜、第十二镜片、第十三镜片、第十四镜片、第十七镜片均为双凸结构；第二镜片、第三镜片、第七镜片、第十镜片、第十五镜片均为双凹结构；第四镜片、第五镜片、第十八镜片均为凹凸结构且凸面朝向焦平面；第十六镜片、第十九镜片、第二十镜片均为凹凸结构且凹面朝向焦平面。

3.根据权利要求2所述并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，第十四镜片、第十五镜片、第十六镜片组成消色差三胶合透镜，第十七镜片和第十八镜片组成消色差双胶合透镜。第十四镜片与第十五镜片的阿贝数之差大于40，第十六镜片与第十五镜片的阿贝数之差大于40，第十七镜片和第十八镜片阿贝数之差大于50。

4.根据权利要求3所述并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，第八镜片、第九镜片、第十一镜片、第十二镜片、第十三镜片、第十四镜片、第十六镜片、第十七镜片均采用阿贝数大于90的超低色散材料。

5.根据权利要求1所述并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，物方视场角±4.2°。

6.根据权利要求1所述并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，在全视场范围内，波长522～790nm范围内垂轴色差小于5.1nm，波长532～780nm范围内垂轴色差小于1.2nm，可实现多光束并行曝光抑制超衍射极限激光直写。

7.根据权利要求6所述并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，所述多光束并行曝光抑制超衍射极限激光直写是指物镜将多角度入射的激光聚焦在物镜的焦平面上，且在全视场范围内曝光光和抑制光中心高度重合，从而实现并行超分辨直写。

8.根据权利要求1所述并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，焦距为6.93mm，工作距离为1.473mm，数值孔径为1.4。

9.根据权利要求1所述并行曝光抑制超衍射极限激光直写物镜，其特征在于，还包括折射率匹配液，涂敷在第二十镜片表面用于提高物镜分辨率。