[发明专利]粒子束装置及其真空室的通气抽空方法、计算机程序产品

权利要求书

1.一种用于对粒子束装置(100，200，400)的真空室(120，201，426)进行通气和抽空的方法，所述真空室流动连接至另外的真空室(600，600A，600B)，粒子束发生器(101，301，402)布置在该另外的真空室(600，600A，600B)中，其中，该方法包括以下步骤：

-关闭第一真空泵(604)的至少一个进气阀(605)，其方式使得第一供给管线(606)中的第一流动连接在该第一真空泵(604)的进气口与该真空室(120)之间中断；

-关闭该第一真空泵(604)的至少一个出气阀(607)，其方式使得第二供给管线(608)中的第二流动连接在该第一真空泵(604)的出气口与第二真空泵(609)的进气口之间中断；

-在泵送操作中操作该第一真空泵(604)；

-关闭布置在该真空室(120，201，426)与该另外的真空室(600，600A，600B)之间的分离阀(601)，其方式使得第三供给管线(619)中的第三流动连接在该真空室(120，201，426)与该另外的真空室(600，600A，600B)之间中断，其中，该真空室(120，201，426)中存在第一真空，并且其中，该另外的真空室(600，600A，600B)中存在第二真空；

-通过打开流动连接至该真空室(120，201，426)的至少一个通气设备(613)来对该真空室(120，201，426)进行通气，其方式使得至少一种通气气体流入该真空室(120，201，426)；

-打开该第二真空泵(609)的至少一个进气阀(611)，其方式使得第四供给管线(610)中的第四流动连接在该第二真空泵(609)的进口与该真空室(120，201，426)之间建立；

-使用该第二真空泵(609)对该真空室(120，201，426)进行抽空；

-打开该第一真空泵(604)的出气阀(607)，其方式使得该第二供给管线(608)中的第二流动连接在该第一真空泵(604)的出气口与该第二真空泵(609)的进气口之间建立；

-打开该第一真空泵(604)的进气阀(605)，其方式使得该第一供给管线(606)中的第一流动连接在该第一真空泵(604)的进气口与该真空室(120，201，426)之间建立；以及

-使用该第一真空泵(604)对该真空室(120，201，426)进行抽空。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在打开该通气设备(613)之前，关闭该分离阀(601)。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，该方法包括以下步骤之一：

(i)首先关闭该第一真空泵(604)的进气阀(605)，并且之后关闭该第一真空泵(604)的出气阀(607)；

(ii)首先关闭该第一真空泵(604)的出气阀(607)，并且之后关闭该第一真空泵(604)的进气阀(605)。

4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，该方法包括以下步骤之一：

(i)首先打开该第一真空泵(604)的进气阀(605)，并且之后打开该第一真空泵(604)的出气阀(607)；

(ii)首先打开该第一真空泵(604)的出气阀(607)，并且之后打开该第一真空泵(604)的进气阀(605)。

5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，

-在对该真空室(120，201，426)进行通气之前和/或在对该真空室进行通气期间，将该第二真空泵(609)切换到待机模式；并且其中，

-在对该真空室(120，201，426)进行通气之后和/或在对该真空室进行通气期间，将该第二真空泵(609)切换到泵送操作。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，在打开该第一真空泵(604)的进气阀(605)之前、期间或之后和/或在打开该第一真空泵(604)的出气阀(607)之前、期间或之后，关闭该第二真空泵(609)的进气阀(611)，其方式使得该第四供给管线(610)中的第四流动连接在该第二真空泵(609)的进口与该真空室(120，201，426)之间中断。