[发明专利]一种具有高抗压的真空传感器

说明书

本发明公开了一种具有高抗压的真空传感器，涉及传感器技术领域，解决了现在的真空传感器的抗砸压能力较弱，横向抗挤压能力较弱的问题，包括一号元件放置仓；所述一号元件放置仓的右侧固定连接有一个探测头；所述三号元件放置仓与四号元件放置仓之间外侧也固定安装有一个连接支撑环；所述一号支撑环、连接支撑环和二号支撑环的外侧固定安装有两块上下对称的外壳；所述外壳的前后侧均固定连接有一道连接板；所述连接板通过连接螺栓和螺母固定连接。当受到从上掉落的重物打击到外壳时，一号支撑环、连接支撑环和二号支撑环内侧的六块板能够增强本装置的整体刚性，而且分布比较均匀，所以能够大幅度降低本装置变形的可能，抗砸压能力大大增强。

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，具体为一种具有高抗压的真空传感器。

背景技术

随着真空微电子器件的广泛应用，越来越多的微电子器件和微机械系统需要在真空环境下工作，而且对真空度的要求也越来越高。而现有的真空封装技术会存在一定的残余压力，而且时间一长也会有密封失效的问题，然而封装内部的真空度又无法测量，因此将无法确保这些微电子和微机械系统是否在其设计的工作环境中工作。如果能将微型真空传感器集成到这些微电子器件和为机械系统中，那么可以随时监控这些器件的工作环境的真空度，从而可以得知这些真空微电子器件和微机电系统是否在其最佳的工作状态，确保其可靠性。因此微型真空传感器在真空微电子和微机械系统等领域有着广泛的应用。

例如申请号为201721855041.4的专利，公开了一种真空传感器，尤其是涉及一种新型集成化真空传感器。包括气嘴、壳体、传感器和单向阀，单向阀包括单向阀壳、单向阀弹簧、单向阀固定管、盖板和壳体栓头。传感器包括传感器芯片、传感器外壳、传感器探针和传感器密封圈。本实用新型具有传感器能直接感应壳体内的气压并转化为电压信号传输给汽车控制端，装置整体较为可靠且拆卸检修简便等有益效果。

基于上述，现有的真空传感器的外壳均是普通的塑料外壳，内部的元件均固定在外壳内的同一个空腔中，这些传感器在使用过程中受到上方掉落的杂物砸压时，因为外壳及其脆弱，所以极容易产生变形和破损，抗砸压能力较弱，而且同样在受到横向挤压时外壳也极容易发生折断，横向抗挤压能力较弱；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种具有高抗压的真空传感器。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有高抗压的真空传感器，以解决上述背景技术中提出的现有的真空传感器的外壳均是普通的塑料外壳，内部的元件均固定在外壳内的同一个空腔中，这些传感器在使用过程中受到上方掉落的杂物砸压时，因为外壳及其脆弱，所以极容易产生变形和破损，抗砸压能力较弱，而且同样在受到横向挤压时外壳也极容易发生折断，横向抗挤压能力较弱的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种具有高抗压的真空传感器，包括一号元件放置仓；所述一号元件放置仓的右侧固定连接有一个探测头；一号元件放置仓左侧、二号元件放置仓左侧和三号元件放置仓左侧均固定连接有六个二号连接头；所述二号元件放置仓右侧、三号元件放置仓右侧和四号元件放置仓右侧均固定连接有六个一号连接头；所述一号元件放置仓通过左侧的二号连接头与二号元件放置仓右侧的一号连接头固定连接；所述二号元件放置仓通过左侧的二号连接头与三号元件放置仓右侧的一号连接头固定连接；所述三号元件放置仓通过左侧的二号连接头与四号元件放置仓右侧的一号连接头固定连接；所述一号元件放置仓的右端外侧固定安装有一个二号支撑环；所述一号元件放置仓与二号元件放置仓之间外侧固定安装有一个连接支撑环；所述二号元件放置仓与三号元件放置仓之间外侧固定安装有一个连接支撑环；所述三号元件放置仓与四号元件放置仓之间外侧也固定安装有一个连接支撑环；所述四号元件放置仓的左端外侧固定安装有一个一号支撑环；所述一号支撑环、连接支撑环和二号支撑环的外侧固定安装有两块上下对称的外壳；所述外壳的前后侧均固定连接有一道连接板；所述连接板通过连接螺栓和螺母固定连接。

优选的，所述一号支撑环的左侧内部呈环形排列固定连接有六块板，且这六块板在一号支撑环的圆心位置交汇连接在一起，一号支撑环右侧的圆形槽套在四号元件放置仓的左端外侧并与四号元件放置仓外侧紧密贴合。