[发明专利]一种基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统及检测方法

权利要求书

1.一种基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统，其特征在于，包括：

样品台，用于放置待检测的样品；

检测机构，具有多根探针，用于利用范德堡法对样品进行检测；及

位置调节机构，用于在检测过程中自动调整所述探针与所述样品台的相对位置，以使所述探针能够对样品的不同微区进行检测。

2.根据权利要求1所述的基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统，其特征在于，所述位置调节机构还具有运动轨迹设定模块，用于设定所述探针与所述样品台的相对运动轨迹。

3.根据权利要求1所述的基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统，其特征在于，所述位置调节机构针对所述样品台和每一所述探针进行独立的相对位置调整。

4.根据权利要求1所述的基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统，其特征在于，每一所述探针均与电流端口及电压检测端口选择性电性连接。

5.根据权利要求1所述的基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统，其特征在于，所述高通量微区电学性能检测系统还包括磁性件和/或加热单元；

其中，所述磁性件用于为样品的检测提供磁场环境；所述加热单元用于为样品的检测提供所需的检测温度。

6.根据权利要求5所述的基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统，其特征在于，所述高通量微区电学性能检测系统还包括磁场调节组件，用于反转所述磁性件的磁场。

7.一种采用如权利要求1-6任一项所述的基于范德堡法的高通量微区电学性能检测系统的检测方法，其特征在于，包括：

放置待检测的样品于所述样品台；

利用所述检测机构的所述多根探针采用范德堡法对样品进行检测，在检测过程中，利用所述位置调节机构自动调整所述探针与所述样品台的相对位置，使所述探针能够对样品的不同微区进行检测。

8.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，自动调整探针与样品台相对位置之前，预设所述探针与所述样品台的相对运动轨迹，所述相对运动轨迹基于样品中微区的分布情况来设定。

9.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，利用所述探针对样品的电阻率进行检测时，沿微区的周向，检测每一组相邻两探针间的电压，将检测结果矢量叠加以修正微区形状对电阻率检测的干扰。

10.根据权利要求7所述的检测方法，其特征在于，样品的检测在磁场环境中进行，利用所述探针对样品的霍尔电压进行检测时，调整磁场反转并分别检测磁场反转前后样品的霍尔电压，将检测结果矢量叠加以修正霍尔效应的附加效应的干扰。