[发明专利]一种双动极板电容式压力敏感芯片

权利要求书

1.一种双动极板电容式压力敏感芯片，其特征在于：该芯片包括刻有凹槽(1)及进压通道(2)的单晶硅衬底(3)，位于衬底(3)之上的感压下极板(4)，下极板(4)上的介质层(5)，感压上极板(6)，上极板(6)与下极板(4)构成的密封腔体(7)；上、下极板通过压焊点及金属引线(8)与外部电路连接成压力检测电路，将压力信号转换成电信号输出;

设置在硅衬底(3)上的下极板(4)与上极板(6)均为感压可动结构，当有外界压力存在时，上极板(6)与下极板(4)会同时受到压力作用发生形变，形成双动效果，使得两极板间电容值发生变化，由此将压力信号转换成电信号输出;

在下极板(4)下方设置有凹槽(1)和进压通道(2)，位于单晶硅衬底(3)的内部，外界压力可由进压通道(2)经凹槽(1)作用于下极板(4);

上极板(6)与下极板(4)构成密封腔体(7)，下极板(4)位于上极板(6)与衬底凹槽(1)之间，并相对于硅衬底(3)悬空可动;

在下极板(4)上设置有介质层(5)，位于下极板(4)之上；

下极板设置于预先刻蚀好凹槽(1)及进压通道(2)的单晶硅衬底(3)上；

上、下感压极板采用膜片；

适合研制微小量程压力传感器。