[发明专利]感光性组合物、经图案化的固化膜的制造方法及经图案化的固化膜

说明书

本发明涉及感光性组合物、经图案化的固化膜的制造方法及经图案化的固化膜。提供能形成相对介电常数低的固化物且能够在具有高低差的基板上形成保形性良好的涂布膜的感光性组合物、该感光性组合物的固化物、和使用该感光性组合物的固化物的制造方法。在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)和光聚合引发剂(C)的感光性组合物中，使用包含特定量的来自(甲基)丙烯酸多环烷基酯的结构单元(A‑1)且重均分子量为9,000以上的丙烯酸系树脂作为碱溶性树脂(A)。

技术领域

本发明涉及感光性组合物、该感光性组合物的固化物、及使用该感光性组合物的固化物的制造方法。

背景技术

在液晶显示装置这样的显示装置中，绝缘膜这样的材料需要使从背光源这样的光源发出的光高效地透过。因此，为了形成绝缘膜，要求能够形成透明性优异的膜的材料。

这样的透明绝缘膜通常在基板上被图案化。作为形成经图案化的透明绝缘膜的方法，例如，使用包含具有氧杂环丁烷环的碱溶性树脂、聚合性多官能化合物、和α-氨基烷基苯酮系光聚合引发剂的负型感光性组合物的方法(参见专利文献1)是已知的。

另一方面，近年来，随着液晶显示器的生产台数增加，滤色器的生产量也增大，从更进一步提高生产率的观点考虑，期望能够以低曝光量形成图案的高敏感度的感光性组合物。

但是，在滤色器中包含的各种功能性膜中含有着色剂，而在感光性组合物含有着色剂的情况下，若使用专利文献1中记载的α-氨基烷基苯酮系光聚合引发剂，则存在难以获得足够高的敏感度的问题。

在这样的状况下，作为高敏感度的感光性组合物，本申请的发明人提出了包含特定结构的肟酯化合物作为光聚合引发剂的高敏感度的感光性组合物(参见专利文献2及3。)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-173678号公报

专利文献2：日本特开2012-189996号公报

专利文献3：日本特开2012-189997号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在包含肟酯化合物作为光聚合引发剂的感光性组合物中，虽然敏感度良好，但另一方面，存在难以形成相对介电常数低的固化物的问题。

另外，半导体器件的高集成度化不断进展，在涂布光刻胶组合物的基板上预先形成图案等结构物的情况居多。有时该结构物自身也存在高低差。因此，期望即使如此在被涂布面上存在高低差，也可追随高低差而使涂布膜的膜厚为相同程度。从上述实际情况考虑，期望感光性组合物能够形成保形膜(conformal film)。

本发明是鉴于上述课题而作出的，目的在于提供能形成相对介电常数低的固化物且能够在具有高低差的基板上形成保形性良好的涂布膜的感光性组合物、该感光性组合物的固化物、和使用该感光性组合物的固化物的制造方法。

用于解决课题的手段

本申请的发明人发现，通过在包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、和光聚合引发剂(C)的感光性组合物中，使用包含特定量的来自(甲基)丙烯酸多环烷基酯(polycycloalkyl(meth)acrylate)的结构单元(A-1)、且重均分子量为9,000以上的丙烯酸系树脂作为碱溶性树脂(A)，能够解决上述的课题，从而完成了本发明。更具体而言，本发明提供以下的方案。

本发明的第1方式为感光性组合物，其包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、和光聚合引发剂(C)，

碱溶性树脂(A)包含下述丙烯酸系树脂，所述丙烯酸系树脂包含相对于全部结构单元的量而言为20质量％以上的来自(甲基)丙烯酸多环烷基酯的结构单元(A-1)，