[发明专利]一种探针检测方法有效

申请号：	202110388896.5	申请日：	2021-04-12
公开（公告）号：	CN113078072B	公开（公告）日：	2023-04-07
发明（设计）人：	高跃红;王蕾;孙斌;武绍军;孙德举;李家奇;王毓樟;王纪彬	申请（专利权）人：	长春光华微电子设备工程中心有限公司
主分类号：	H01L21/66	分类号：	H01L21/66
代理公司：	长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218	代理人：	高一明;郭婷
地址：	130102 吉林省长***	国省代码：	吉林;22
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摘要：
搜索关键词：	一种探针检测方法
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【说明书】：

本发明涉及半导体技术领域。具体提供一种探针检测方法，通过在探针检测中增加分组测试程序，使晶圆上均匀分布多组待测区域，并以组为间隔进行同一晶圆待测区域内多路芯片同时测试；并构建可进行标准测试模式和分组测试模式的探针检测程序。本发明提供的探针检测方法，以group为间隔进行多site测试，解决了在传统分组测试模式中因为每组中site分布不均，而只能采用单site的测试方式的问题，极大缩短了测试时间，提高测试效率。同时构建了可以对所需检测模式进行选择的检测程序。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种探针检测方法。

背景技术

目前对分组测试只有单site测试，site指能够进行多路测试的最多芯片数，site数越大表示测试效率越高。图1是晶圆测试区域分布图，如图1所示，一个晶圆测试区域分为32组，每组记为一个group，虚线框代表一个group。

图2是group单位中site排列示意图，如图2所示，group中具体site排列，图中虚线框代表一个site，该group中共有12个site。

对于group测试晶圆，由于每个group中site的位置不一定是等间距分布，所以不能采用传统测试中的多测试端(multi-site)测试，只能采用单site测试，测试时间长，效率低。

发明内容

针对上述问题，本发明提出了一种探针检测方法，通过对探针检测程序的改进，解决了在传统分组测试模式中因为每组中site分布不均，而只能采用单site的测试方式的问题。

本发明提供一种探针检测方法，通过在探针检测中增加分组测试程序，使晶圆上均匀分布多组待测区域，并以组为间隔进行同一晶圆待测区域内多路芯片同时测试。

优选地，在探针检测过程中增加测试模式选择步骤，对标准测试模式和分组测试模式进行选择。

优选地，所述探针检测步骤包括：

S1：开启探针检测程序；