[发明专利]晶圆夹持旋转机械手

权利要求书

1.一种晶圆夹持旋转机械手，其特征在于，包括：晶圆末端执行器、夹持组件、第一同步带组件及第二同步带组件，其中，

所述晶圆末端执行器包括支撑板，所述支撑板的前端设有前端限位块，相对的后端设有后端限位块，晶圆支撑于所述支撑板上，且卡设于所述前端限位块与所述后端限位块之间；

所述夹持组件包括夹持板、导杆、第一轴承、第一传动轴、第二轴承及支撑轴承组件，所述夹持板伸缩设于所述后端限位块上，具有相对的夹持端和固定端，所述夹持端与所述支撑板相配合以夹持或释放所述晶圆的边缘，所述导杆的一端固定连接所述固定端，中部滑动套设所述第一轴承，相对的另一端固定套设所述第二轴承，所述第一传动轴的内圈套设于所述第一轴承的外圈，外圈套设所述支撑轴承组件，所述支撑轴承组件压紧所述第一轴承及所述第一传动轴；

所述第一传动轴及所述晶圆末端执行器分别传动连接所述第一同步带组件，所述第一同步带组件驱动所述第一传动轴带动所述第一轴承、所述导杆及所述夹持板绕所述第一轴承的轴向旋转运动，并同步驱动所述晶圆末端执行器绕所述第一轴承的轴向同向旋转；

所述第二同步带组件传动连接所述第二轴承，驱动所述第二轴承带动所述导杆沿所述第一轴承的轴向往返运动，所述导杆传动所述夹持板沿所述晶圆的径向伸缩运动。

2.如权利要求1所述的晶圆夹持旋转机械手，其特征在于，所述第一同步带组件包括旋转电机、第一同步轮、第一传动带及第二同步轮，所述旋转电机的旋转端固定连接所述第一同步轮，且沿平行于所述第一轴承的轴向设置，所述第一同步轮及所述第二同步轮通过所述第一传动带传动相连，所述第二同步轮套设于所述第一传动轴的外圈表面，且固定连接第一转接板的一端，所述第一转接板的相对的另一端固定连接所述晶圆末端执行器。

3.如权利要求2所述的晶圆夹持旋转机械手，其特征在于，所述第一轴承包括直线轴承，所述第二同步轮与所述第一转接板之间设有第一防水密封件，所述第二同步轮与所述第一传动轴之间设有第二防水密封件。

4.如权利要求3所述的晶圆夹持旋转机械手，其特征在于，所述第二同步带组件包括气缸、第二传动轴、第二传动带及第三同步轮，所述第二传动轴固定连接所述气缸的气缸推杆，且平行于所述第一轴承的轴向设置，所述第三同步轮套设于所述第二传动轴的外圈表面，且通过所述第二传动带传动连接所述第二轴承，所述气缸推杆驱动所述第二传动轴带动所述第三同步轮沿平行于所述第一轴承的轴向往返运动。

5.如权利要求4所述的晶圆夹持旋转机械手，其特征在于，还包括：传感组件，所述传感组件包括挡光件、相对间距设置的光发射件及光接收件，所述光发射件接收发光信号并发出光线至所述光接收件，所述光接收件接收所述光线并输出感光信号，所述挡光件固定连接所述第二传动轴，且活动设于所述光发射件及所述光接收件之间。

6.如权利要求5所述的晶圆夹持旋转机械手，其特征在于，还包括：控制组件，所述控制组件电连接所述传感组件，发出所述发光信号以及接收所述感光信号。

7.如权利要求6所述的晶圆夹持旋转机械手，其特征在于，所述控制组件还电连接所述气缸，发出第一驱动信号至所述气缸启动所述气缸推杆，所述气缸推杆驱动所述第二传动轴带动所述挡光件位于所述光发射件及所述光接收件之间，所述感光信号关闭。

8.如权利要求7所述的晶圆夹持旋转机械手，其特征在于，所述控制组件还电连接所述旋转电机，所述感光信号关闭，所述控制组件发出第二驱动信号至所述旋转电机启动所述旋转端。