[发明专利]一种垂直腔面发射激光器的外量子效率测试方法

权利要求书

1.一种垂直腔面发射激光器的外量子效率测试方法，其特征在于，该方法采用测量垂直腔面发射激光器光功率随注入电流变化的关系，在光功率-电流曲线中，通过荧光和激光模式的数据进行线性拟合，两段直线交点对应的横坐标即为阈值电流，再测试垂直腔面发射激光器光谱，获得工作波长与电流的关系，计算得到外量子效率随注入电流的变化关系，具体操作按下列步骤进行；

a、测量垂直腔面发射激光器光功率和工作波长随注入电流的变化关系，电流范围为从0mA-30mA，测量垂直腔面发射激光器的波长和光功率时控制测试温度一致；

b、根据步骤a测试的工作波长随注入电流的变化关系结果，由公式计算出与注入电流对应的禁带宽度；

c、将步骤a获得的光功率-电流曲线中，分别取荧光和激光模式的数据，通过最小二乘法求出其一元线性回归的方程y＝ax+b，其拟合方程为；

d、根据步骤c的两条拟合直线，确定光功率-电流曲线中垂直腔面发射激光器的阈值电流为两拟合直线交点对应的x轴坐标；

e、根据步骤b和步骤d获得的禁带宽度和阈值电流，利用公式：

计算出外量子效率随注入电流的变化曲线，即得垂直腔面发射激光器的外量子效率，其中η_eqel为外量子效率，P_outl注入电流对应的光功率，I_th为阈值电流，E_gI为禁带宽度。

2.如权利要求1所述的一种垂直腔面发射激光器的外量子效率测试方法，其特征在于，所述垂直腔面发射激光器工作波长覆盖300nm-1600nm。