[发明专利]一种仿生半导体片状材料取放机构

说明书

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种仿生半导体片状材料取放机构。包括X轴移动模组、摆臂升降机构以及吸盘机构，所述摆臂升降机构通过滑块安装在X轴移动模组上，所述吸盘机构通过连接件与所述摆臂升降机构的端部进行连接，所述摆臂升降机构包括通过电机安装座固定安装在滑块上的伺服电机、连接于伺服电机一端的盘型减速机、连接于盘型减速机端部的太阳轮以及通过同步带连接的行星轮，所述太阳轮和行星轮外套设有外壳。本发明的有益之处：实现取放机构的自由组合，降低机构高度，从而有效降低设备整体空间，提高空间利用率。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种仿生半导体片状材料取放机构。

背景技术

在3C电子行业中，目前平移搬送片材通常多采用直交XZ手臂，因Z轴方向占用大量空间，造成设备总高度增加，影响设备整体布局。传统XZ轴直交手臂无论在拾取还是在搬送过程中，Z向始终占用比较多的空间，不利于设备整体空间缩减。

发明内容

本发明的目的是，提供一种仿生半导体片状材料取放机构，以克服目前现有技术存在的上述不足。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种仿生半导体片状材料取放机构，其特征在于：包括X轴移动模组、摆臂升降机构以及吸盘机构，所述摆臂升降机构通过滑块安装在X轴移动模组上，所述吸盘机构通过连接件与所述摆臂升降机构的端部进行连接，所述摆臂升降机构包括通过电机安装座固定安装在滑块上的伺服电机、连接于伺服电机一端的盘型减速机、连接于盘型减速机端部的太阳轮以及通过同步带连接的行星轮，所述太阳轮和行星轮外套设有外壳。

优选的，所述外壳内部设置有张紧轮，所述张紧轮设置在所述太阳轮和行星轮之间，且配合同步带安装。

优选的，所述X轴移动模组包括铝型材模组、设置在铝型材模组上的直线滑轨、设置在铝型材模组内的直线电机定子、设置在铝型材模组上的直线电机动子以及设置在铝型材模组两侧的磁栅，在所述磁栅旁设置有磁栅读数头，所述铝型材模组上设置有原点极限传感器。

优选的，所述吸盘机构包括与所述行星轮连接的法兰连接件、设置在法兰连接件上的真空吸盘，所述真空吸盘上设置有若干吸孔，所述吸孔均匀分布在所述真空吸盘上。

本发明的有益效果是：本发明实现取放机构的自由组合，降低机构高度，从而有效降低设备整体空间，提高空间利用率。与现有技术相比，本发明能够使用摆臂机构和行星轮系组合实现片材的升降并保持水平，替代传统Z轴，有效减小Z向尺寸，搬运阶段占用更小的空间，便于设备整体布局。张紧轮可调整同步带的松紧程度，张紧完成后，要适当调整免键太阳轮的角度，使吸盘机构水平。行星轮和太阳轮齿数相同，能够保证任何时刻，角度一致，从而保证摆臂旋转时吸盘机构也能始终保持水平。摆臂旋转升降行星轮，通过算法同时让X轴作反向移动，抵消摆臂旋转产生的X向位移，使行星轮能够竖直上下移动。真空吸盘采用微孔方式吸取产品，吸着力分布均匀，对产品影响小。

附图说明

图1为本发明一种仿生半导体片状材料取放机构的结构示意图；

图2为本发明一种仿生半导体片状材料取放机构的X轴移动模组俯视图；

图3为本发明一种仿生半导体片状材料取放机构的X轴移动模组仰视图；

图4为本发明一种仿生半导体片状材料取放机构的摆臂升降机构侧视图；

图5为本发明一种仿生半导体片状材料取放机构的摆臂升降机构俯视图；

图6为本发明一种仿生半导体片状材料取放机构的吸盘机构示意图；