[发明专利]OLED基板封装方法及其装置有效
申请号: | 202110384248.2 | 申请日: | 2021-04-09 |
公开(公告)号: | CN113113557B | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 谢泽春 | 申请(专利权)人: | 深圳市辉中盛科技有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32;G09F9/30 |
代理公司: | 深圳市众元信科专利代理有限公司 44757 | 代理人: | 王宣玲 |
地址: | 518109 广东省深圳市龙华*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 封装 方法 及其 装置 | ||
本发明公开了OLED基板封装装置,加热圆盘,所述加热圆盘的顶部设有钟罩,所述加热圆盘的外侧设有对加热圆盘进行支撑的支撑件,其底部设有连接件,通过连接件将基板固定安装在加热圆盘的底部;所述支撑件的上方设有带动加热圆盘进行转动的驱动件;所述支撑件的侧面下方连接有支撑架,此OLED基板封装方法及其装置,利用平整装置中的压轮在基板进行蒸镀时,对其表面进行支撑,避免基板在加热蒸镀过程中产生褶皱,造成基板蒸镀不合格,滚花状的压轮可以减少压轮与基板之间的接触面,基板旋转蒸镀过程中,压轮相对基板也保持转动,避免压轮对基板的蒸镀面造成干涉遮挡,使得基板表面可以得到均匀蒸镀。
技术领域
本发明涉及OLED基板封装技术领域,具体为OLED基板封装方法及其装置。
背景技术
近年来,随着柔性屏幕技术的发展,柔性OLED显示屏的应用越来越广泛,OLED显示屏是利用有机发光二极管制成的显示屏,由于有机发光二极管能够自发光,因此不需背光源,且具有对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可挠曲性、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异之特性,被认为是下一代平面显示器的新兴应用技术,由于OLED面板材料特殊,极易与水氧反应,因此制备时需要对各个板块利用保护膜进行封装。
其中OLED基板制备过程中,部分功能膜层的制备一般是通过蒸镀的方式形成的,蒸镀是将蒸镀材料放置在真空环境中加热,使之气化并沉积到基片表面上而获得固体薄膜的方法,基板将要形成合金的每一成分,分别装入各自的蒸发源中,然后独立地控制其蒸发速率,使达到基板的挡板,各种原子符合组成要求,为使薄膜厚度分布均匀,基板常需要进行转动。
基板变形量也就是受重力变形的挠度越大,这一问题的出现让有机材料的蒸镀变的更加困难,在变形过大的情况下对基板进行蒸镀有机材料,在基板水平放置时容易让有机材料起褶皱,损坏有机发光层和各功能层,从而导致成品率低和生产成本的上升,直接影响产品的竞争力和市场。为此,我们提出OLED基板封装方法及其装置。
发明内容
本发明的目的在于提供OLED基板封装方法及其装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种OLED基板封装方法,包括步骤一;检查真空镀膜设备个操作控制开关是否在“关”位置,以确保设备正常启动;步骤二:启动钟罩阀,将顶部钟罩打开,将基板固定安装在加热圆盘上,安装完毕后关闭钟罩;步骤三:启动真空镀膜设备抽真空机械泵,使得设备内部形成真空环境;步骤四:启动主开关,将坩埚内的靶材蒸镀至加热圆盘上的基板表面;步骤五:取样品,镀膜结束后依次关闭电源,将完成镀膜后的基板取出。
一种OLED基板封装装置,包括加热圆盘,所述加热圆盘的顶部设有钟罩,所述加热圆盘的外侧设有对加热圆盘进行支撑的支撑件,其底部设有连接件,通过连接件将基板固定安装在加热圆盘的底部;所述支撑件的上方设有带动加热圆盘进行转动的驱动件;所述支撑件的侧面下方连接有支撑架,所述支撑架的内部设有对加热蒸镀中的基板表面进行平整保护的平整装置;所述平整装置的外侧设有带动平整装置在支撑架内部进行旋转移动的驱动装置。
优选的,所述支撑件包括设置在加热圆盘外侧的固定环,所述固定环的中间设有旋转槽,所诉旋转槽内旋转安装有一对旋转块,所述旋转块的侧面固定安装在钟罩内壁上,便于对固定环及其连接件进行支撑。
优选的,所述连接件包括置于基板两侧的两对固定板,所述固定板的下方设有固定槽,一侧所述固定板的下方固定槽呈矩形通槽,另一侧固定板的下方固定槽呈角型槽,使得基板可以由一侧矩形通槽内滑入,至角型槽到位,所述固定板的底部设有连接板,所述加热圆盘的底部设有与连接板对应的连接槽,所述连接板置于连接槽内通过紧固螺钉锁紧,便于将基板固定安装在加热圆盘上。
优选的,所述驱动件包括设置在固定环上方的连接杆,所述连接杆的上方中间设有固定盘,所述固定盘的中心与驱动电机的输出端固定连接,所述驱动电机的底部固定安装有支撑座,所述支撑座的底部固定安装在钟罩的顶部内壁上,便于带动连接杆及其连接件在蒸镀时进行转动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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