[发明专利]一种增强太阳能电池光吸收的微纳混合结构及制备方法

权利要求书

1.本发明提供的是一种增强太阳能电池光吸收的微纳混合结构及制备方法。其特征是：金字塔结构硅片(a)通过化学腐蚀法制备得到微纳混合结构，简称黑硅(b)，然后以黑硅(b)为模板，在其结构面上浇筑PDMS胶，得到黑硅和PDMS胶的混合结构体(c)，最后通过脱模过程得到表面微纳混合结构PDMS薄膜(d)。所述制备方法中，金字塔结构硅片(a)清洗后固定于玻璃衬底，然后用化学试剂在硅片上刻蚀纳米线阵列，清洗并烘干后制备得到黑硅(b)；接着以黑硅为模板，将调配好的PDMS膜浇筑在黑硅的金字塔结构面，并进行抽真空处理，得到黑硅与PDMS的混合结构体(c)；最后恒温70度加热至PDMS胶完全固化，再采用拔模工艺将黑硅(b)与PDMS胶膜分离，得到具有表面微纳混合结构的PDMS胶膜。

2.根据权利要求1所述的表面微纳混合结构。其特征是：所述的表面微纳混合结构是以黑硅为模板，然后将PDMS胶浇筑在黑硅结构表面，恒温固化后，经拔模工艺后制备得到；该结构是由微米尺度的金字塔结构和纳米尺度的纳米线阵列结构组成的双重抗反射结构。

3.根据权利要求1所述的PDMS胶膜。其特征是：PDMS胶膜中金字塔结构的周期为10μm-20μm，纳米线阵列结构的高度为50nm-100nm。