[发明专利]一种双侧斐索干涉仪检测装置

权利要求书

1.一种双侧斐索干涉仪检测装置，包括共光路且相对放置的第一干涉仪主机(2)和第二干涉仪主机(3)，以及参考面平行的第一标准镜(4)和第二标准镜(6)；所述的第一干涉仪主机(2)和第二干涉仪主机(3)出射光传播路径一致，方向相反，所述的第一干涉仪主机(2)和第二干涉仪主机(3)均包括沿光轴依次设置的点光源、分束器(203)和准直镜(205)，以及光阑(206)和探测器(208)；其特征在于：所述的点光源位于准直镜(205)的焦面非焦点处，使点光源依次经分束器(203)和准直镜(205)透射的出射光与所述的光轴具有夹角，进而使经所述的第一干涉仪主机(2)进入第二干涉仪主机(3)的光线汇聚在第二干涉仪主机(3)的光阑(206)的遮光区，不射入该第二干涉仪主机(3)的探测器(208)；同样，经所述的第二干涉仪主机(3)出射并进入第一干涉仪主机(2)的光线，汇聚在第一干涉仪主机(2)的光阑(206)的遮光区，不射入该第一干涉仪主机(2)的探测器(208)。

2.根据权利要求1所述的双侧斐索干涉仪检测装置，其特征在于，所述的点光源为光源输出光经光纤光路传播，经成像透镜组(202)聚焦后的聚焦点，或者所述的点光源为光纤端面本身。

3.根据权利要求1所述的双侧斐索干涉仪检测装置，其特征在于，所述的分束器(203)是偏振分束器。

4.根据权利要求1所述的双侧斐索干涉仪检测装置，其特征在于，还包括用于给第一干涉仪主机(2)和第二干涉仪主机(3)提供光源的光源模块(1)。

5.根据权利要求4所述的双侧斐索干涉仪检测装置，其特征在于，所述的光源模块(1)包括光源(101)和光源分束器(102)，所述的光源输出光通过单模光纤传输，经光源分束器(102)分为两路，分别输入至第一干涉仪主机(2)和第二干涉仪主机(3)。

6.根据权利要求1～5任一所述的双侧斐索干涉仪检测装置，其特征在于，所述的光源(101)是波长可调谐激光器；输出的两路光均为线偏振光，输入至各干涉仪主机后，分别经过干涉仪内部的可调谐衰减器(201)、分束器(203)后经准直镜(205)准直入射到标准镜(4)上，其中，一部分光在标准镜参考面(4)处被反射，另一部分被透射，经被测非透明平面(5)反射的光构成系统的测量光束，经参考面反射的光构成系统的参考光束，所述的标准镜参考面为标准镜的后表面；所述的可调衰减器(201)实现光强比例可调。